大气压短间隙放电是产生冷等离子体的一种有效手段,常见的交流驱动电源有射频电源和千赫兹交流电源,但这两种不同频率电源所导致的气隙放电特性对比尚鲜有研究.本文以1 mm间隙的针-板电极这一极不均匀电场结构作为放电气隙,将之等效为球坐标系下的1维结构,建立基于迁移-扩散近似下的多组分、局部能量近似的经典等离子体流体模型,仿真研究了13.56 MHz射频(RF)电源或50 kHz交流(LF)电源所驱动的1 mm氦气(混合0.1%氮气)间隙的放电过程,关注了在1 mW和1 W这两种不同的沉积能量下的放电特性.结果表明:RF放电在1 mW时表现为电晕放电模式,此时间隙中的带电粒子密度低,且主要集中在功率电极附近;当沉积功率升高至1 W时,间隙放电则呈现出明显的辉光放电特征,电极附近出现鞘层,且气隙中间存在准电中性的等离子体区域;LF放电的起始电压幅值要高于RF,且LF放电随电压升高会较为平顺地从电晕放电模式过渡到辉光放电模式,而不存在明显的转换过程.对两种频率的放电而言,电晕放电模式下,潘宁电离是主要的电离路径;而辉光放电模式下,直接的电子碰撞电离成为主导的电离通道.此外,在相同的沉积功率下,LF放电的最大电子密度、电子温度和正离子温度都要高于RF放电,但时间均匀性较差,呈现出明显的脉冲放电特性.