Bu tezde, koordinat ölçme cihazlarında yapılan ölçümlerin belirsizliklerianaliz edilmis ve bu belirsizliklerin benzetimine imkan veren bir simulasyonyazılımı tasarlanmıstır. Söz konusu analize cihazın ölçüm isleminin veyapısının incelenmesi ile baslanmıstır Sonrasında ölçümü etkileyecek hatakaynakları tespit edilmis, sistematik hataların bir bölümü modellenmis veayrılmıstır. Bu sayede ölçüm belirsizligi sistematik olan kinematik, geometrikve ısıl hatalardan ayrılmıs olmustur. Uygulanan kinematik ve geometrik hatamodeli cihazın yapısına baglıdır. Ayrıca cihazın yapısına baglı olmayan ortakbir model olusturulmus ve modelde lazer hata verileri kullanılarak makinahacminin hata haritası çıkarılmıstır. Sonrasında ise olusturulan iki model,sonuçların farkına ve oranına bakılarak karsılastırılmıstır.Tanımlanan sistematik hataların telafi edilmesi analiz için geriye ölçümbelirsizligini bırakmıstır. Ölçüm belirsizligi telafi edilemeyen sistematik verasgele hatalardan kaynaklanmaktadır. Bu tezin diger bir amacıda bahsedilenbelirsizligin farklı yöntemler kullanılarak miktarlanması ve bu yöntemlerinbasarısının incelenmesidir. Bu kapsamda belirsizlik bütçeleme, karsılastırma,deney tasarlanarak istatistik ile degerlendirme ve benzesim yöntemleriincelenmis ve mevcut bir cihaza uygulanmıstır. Bununla birlikte, tekrarlananölçümler gerektirmeden daire, düzlem ve küre ölçümleri gibi ise özel ölçümbelirsizliklerini benzestirmek için sanal koordinat ölçme cihazı yazılımıtasarlamıstır. Son olarak performansı cihazın matematiksel modellemesi baglıolarak degisen bu yazılım gerçek ölçümler ile karsılastırılarak test edilmistir.Anahtar Kelimeler: Dogruluk Mühendisligi, Boyutsal Ölçüm Belirsizligi,Koordinat Ölçme Cihazı, Kinematik ve Geometrik Hata Modellemesi,Simülasyon In this thesis, the measurement uncertainty of Coordinate Measuring Machine(CMM) is analysed and software is designed to simulate this. Analysis begins withthe inspection of the measurement process and structure of the CMMs. After that,error sources are defined with respect to their effects on the measurement and then anerror model is constructed to compensate these effects. In other words, systematicpart of geometric, kinematic and thermal errors are compensated with errormodelling. Kinematic and geometric error model is specific for the structure ofCMM under inspection. Also, a common orthogonal kinematic model is formed andwith using the laser error data of the CMM and error maps of the machine volume isobtained. Afterwards, the models are compared with each other by taking thedifference and ratio.The definition and compensation of the systematic errors leave the uncertaintyof measurements for analysing. Measurement uncertainty consists of theuncompensated systematic errors and random errors. The other aim of the thesis is toquantify these uncertainties with using the different methods and to inspect thesuccess of these methods. Uncertainty budgeting, comparison, statistical evaluationby designing an experiments and simulation methods are examined and applied tothe CMM under inspection. In addition, Virtual CMM software is designed tosimulate the task specific measurement uncertainty of circle, sphere and planewithout using the repeated measurements.Finally, the performance of the software, highly depending on themathematical modelling of machine volume, is tested by using actual measurements.Keywords: Precision Engineering, Dimensional Measurement Uncertainty,Coordinate Measuring Machine, Kinematic and Geometric Error Modelling,Simulation. 173