Advanced quantum technologies 4 (2021): 2100079-1–2100079-6. doi:10.1002/qute.202100079 info:cnr-pdr/source/autori:Hunold L.; Lagomarsino S.; Flatae A.M.; Kambalathmana H.; Sledz F.; Sciortino S.; Gelli N.; Giuntini L.; Agio M./titolo:Scalable Creation of Deep Silicon-Vacancy Color Centers in Diamond by Ion Implantation through a 1-mu m Pinhole/doi:10.1002%2Fqute.202100079/rivista:Advanced quantum technologies/anno:2021/pagina_da:2100079-1/pagina_a:2100079-6/intervallo_pagine:2100079-1–2100079-6/volume:4