4차 산업혁명 시대에 접어들며 반도체 품질에 대한 고객의 요구사항이 점점 높아짐에 따라 반도체 장비의 중요성이 더욱 커지고 있다. 그러나 지금까지 반도체 장비에 대한 연구는 경영관리적 측면에서의 사례연구가 주를 이루어 기술 및 혁신 관점에서의 연구는 매우 미흡했다. 이에 따라 본 연구는 “반도체 장비 기업의 유형별 혁신 속성 및 기술지식 영향력 요인은 무엇인가?”라는 연구 문제에 천착하였다. 6개의 반도체 전공정 장비 기업을 종합장비기업군과 단일장비 기업군으로 나눈 후, 전문공급자형 산업에 속하며 복합제품시스템으로 분류되는 반도체 장비의 특성에 기반하여 20년간 등록된 특허 분석을 수행하였다. 연구 결과, 종합장비기업군은 단일장비기업군에 비해 기술지식 연계성이 높으며, 단일장비기업군은 종합장비기업군에 비해 기술지식 영향력이 높다는 점을 확인하였다. 또한 종합장비기업군과 단일장비 기업군 모두 기술지식 영향력에 대해 개방형 혁신은 부정적인 영향을, 기술 융합은 긍정적인 영향을 미친다는 점을 파악하였다. 본 연구는 반도체 장비 산업에 대한 이해를 넓혀 기업들의 전략 수립에 있어 새로운 시각을 제공했다는 점에서 그 의의를 찾을 수 있다.
The importance of semiconductor equipment is increasing rapidly in line with the increase in customer quality requirements. However, studies on semiconductor equipment so far have been mostly limited to case studies regarding business management, whereas there have not been enough studies from the technological and innovation point of view. To evaluate the innovation attributes and the impact of technological knowledge by type of semiconductor equipment manufacturer (OEM), this study divided six semiconductor FEOL (Front-End Of Line) equipment manufacturers into two groups, namely, Integrated Equipment Manufacturers and Specialized Equipment Manufacturers. Patents relating to specialized suppliers and complex product systems (CoPS) over the past 20 years were analyzed based on their attributes. The results showed that the Integrated Equipment Manufacturer group has a higher interrelationship with technological knowledge than the Specialized Equipment Manufacturer group, while the latter showed a higher impact of technological knowledge than the former. It was also found that open innovation has a negative relationship and technology convergence has a positive relationship with the impact of technological knowledge in both groups. This study could broaden the understanding of the semiconductor equipment industry and provide a new perspective with respect to formulating strategies for manufacturers.