CVD 단결정 다이아몬드의 결정성 향상과 붕소 도핑에 따른 내열특성 및 표면 연마에 관한 연구 / A study on the improvement of crystallinity of CVD single-crystal diamond and heat resistance and surface polishing according to boron doping
- Resource Type
- Dissertation/ Thesis
- Source
- Subject
다이아몬드 homoepitaxial diamond heteroepitaxial diamond CVD Diamond - Language
- Korean