NaCl-Assisted CVD Synthesis of WS2 Atomic Layers from H2S and WF6 Precursors / NaClアシストによるH2SとWF6原料を用いた原子層WS2のCVD合成
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2018, :3741
- Subject
18p-PB3-82 CVD Transition metal dichalcogenides ナノカーボン 層状物質 成長技術 遷移金属ダイカルコゲナイド - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613