Subthreshold Characteristics of Silicon GAA Nanowire MOSFET at Low Temperatures / シリコンGAAナノワイヤMOSFETの低温サブスレッショルド特性
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2021, :2331
- Subject
16a-Z26-2 body factor gate-all-around subthreshold swing ゲートオールアラウンド サブスレッショルドスイング デバイス/配線/集積化技術 ボディファクタ 半導体 新構造デバイス(ナノワイヤ、FinFETなど) - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613