Fabrication and evaluation of diamond SBD using Minimal fab (II) / ミニマルファブを活用したダイヤモンドSBDの試作と評価(II)
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2020, :1819
- Subject
10a-Z10-10 CMP Minimal fab Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術 diamond エピタキシャル成長/CVD/スパッタ ダイヤモンド ミニマルファブ 化学機械研磨 半導体 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613