NaCl電解酸化水を用いた無酸素銅材研磨面の粗化処理 超音波振動併用の効果
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2022, :332
- Subject
electrolytic oxidizing water oxygen free copper polishing surface roughening treatment surface roughness ultrasonic 無酸素銅材 研磨面 粗化処理 表面粗さ 超音波 電解酸化水 - Language
- Japanese