Fine Bubble Technology and its Current Stage of Development ─Semiconductor Cleaning, Wafer Transfer, Plant Factory and Others─ / ファインバブル技術とその開発動向
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- 電気学会誌 / The Journal of The Institute of Electrical Engineers of Japan. 2018, 138(7):430
- Subject
ウルトラファインバブル ファインバブル 洗浄 生長促進 - Language
- Japanese
- ISSN
- 1340-5551
1881-4190