Effect of plasma frequency on electrical properties of nitrogen containing DLC films for CVD technique / 化学気相成長法により成膜した窒素含有非晶質炭素薄膜の電気特性におけるプラズマ周波数の影響
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2020, :910
- Subject
8a-Z05-9 Diamond-like Carbon film カーボン系薄膜 薄膜・表面 非晶質カーボン薄膜 非晶質炭素薄膜 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613