Nitriding treatment by Active Screen Plasma and its evaluation Ⅲ / アクティブスクリーンプラズマによる窒化とその評価Ⅲ
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2019, :1612
- Subject
11a-PA5-5 Nitriding treatment Plasma Synchrotron プラズマ プラズマエレクトロニクス プラズマ成膜・エッチング・表面処理 放射光 窒化 表面処理・表面改質・表面修飾 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613