Synthesis of Coalescent Diamond Thin Films on Si by α-Parameter Modulation / αパラメータ変調によるSi基板上コアレッセント・ダイヤモンド薄膜の合成
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2020, :919
- Subject
8p-Z05-7 crystal growth カーボン系薄膜 ダイヤモンド薄膜 結晶成長 薄膜・表面 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613