Fabrication of diamond/Si heterojunction diodes by surface activated bonding / 表面活性化接合法によるダイヤモンド/Si ヘテロ接合ダイオードの作製
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2021, :2446
- Subject
19p-Z25-13 diamond/Si heterojunction diodes surface activated bonding ダイヤモンド/Si ヘテロ接合ダイオード 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術 半導体 各種材料パワーデバイス 表面活性化接合 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613