Cartographie par diffraction des rayons x à l'échelle du micromètre des contraintes intragranulaires et des orientations cristallines d'un film d'or déposé sur une micro-poutre en silisium
- Resource Type
- Article
- Authors
- Goudeau, P.; Rigo, S.; Masri, T.; Petit, J.-A.; Desmarres, J.-M.; Tamura, N.; Goudeau, P.; Rigo, S.; Masri, T.; Petit, J.-A.; Desmarres, J.-M.; Tamura, N.
- Source
- Matériaux & Techniques; January 2004, Vol. 92 Issue: 3 p46-50, 5p
- Subject
- Language
- ISSN
- 00326895
Dans les micro-dispositifs, les contraintes résiduelles ont accru les risques d'endommagement en cours de fabrication et de défaillance en service. Ces contraintes d'origine thermomécanique ne sont plus maîtrisables par des moyens empiriques et il est donc nécessaire d'utiliser conjointement des techniques expérimentales et des méthodes numériques afin d'améliorer la connaissance des interactions mécaniques entre matériaux présents dans ces architectures de dimension micrométrique. L'objet de cet article est de présenter une des nombreuses applications de la micro-diffraction à l'étude des contraintes résiduelles et de la microstructure à l'échelle du micromètre dans des micro-dispositifs. Les résultats obtenus dans le cas d'un dépôt d'or de 0,56 μm sur une poutre de silicium polycristallin de 20 μm de large et de 100 μm de long permettent de valider des mesures et simulations macromécaniques réalisées sur les mêmes objets.