Imaging performance of the EUV alpha semo tool at IMEC.
- Resource Type
- Article
- Authors
- Lorusso, G. F.; Hermans, J.; Goethals, A. M.; Baudemprez, B.; Van Roey, F.; Myers, A. M.; Kim, I.; Kim, B. S.; Jonckheere, R. M.; Niroomand, A.; Lok, S.; Van Dijk, A.; de Marneffe, J.-F.; Demuynck, S.; Goossens, D.; Ronse, K.
- Source
- Proceedings of SPIE; Nov2008, Issue 1, p69210O-69210O-10, 10p
- Subject
- Language
- ISSN
- 0277786X