000 | cam c | |
001 | 2210080900537 | |
005 | 20210513141803 | |
007 | ta | |
008 | 210513s2021 ulkak 001c kor | |
020 | ▼a9791156109471▼g93560 :▼c\38000 | |
035 | ▼a(KERIS)REW000000397004 | |
040 | ▼a221008 | |
041 | ▼akor▼heng | |
056 | ▼a581.35▼25 | |
245 | 00 | ▼aCMP 웨이퍼 연마 /▼d수리야데바라 바부 저 ;▼e장인배 역 |
260 | ▼a서울 :▼b씨아이알,▼c2021 | |
300 | ▼a599 p. :▼b천연색삽화, 서식 ;▼c26 cm | |
500 | 00 | ▼a원저자명: Suryadevara Babu |
504 | ▼a참고문헌과 색인수록 | |
507 | ▼tAdvances in chemical mechanical planarization | |
653 | ▼aCMP▼a웨이퍼▼a연마 | |
700 | ▼aBabu, Suryadevara,▼e저 | |
700 | ▼a장인배,▼e역 | |
900 | ▼a바부, 수리야데바라 | |
940 | ▼a씨엠피 웨이퍼 연마 | |
950 | 0 | ▼b\38000 |