소장자료

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245 00 a리테이닝 링과 그루브 구조를 고려한 CMP 내 슬러리 유동의 비정상 CFD 해석 /d안도윤
260 a부산 :b동아대학교 대학원,c2026
300 av, 51 p. :b천연색삽화, 도표 ;c26 cm
500 z지도교수: 이진
500 jTransient CFD analysis of slurry flow in CMP considering retaining ring and groove structure
502 a학위논문(석사)--b동아대학교 대학원 :c기계공학과,d2026.2
504 a참고문헌: p. 47-49
653 a전산유체역학(CFD)a화학적 기계적 연마(CMP)a다상유동
700 1 a안도윤
856 adcoll.donga.ac.kruhttp://donga.dcollection.net/common/orgView/200000955117
950 0 a비매품b\0
리테이닝 링과 그루브 구조를 고려한 CMP 내 슬러리 유동의 비정상 CFD 해석
종류
학위논문 동서
서명
리테이닝 링과 그루브 구조를 고려한 CMP 내 슬러리 유동의 비정상 CFD 해석
저자명
발행사항
형태사항
v, 51 p : 천연색삽화, 도표 ; 26 cm
학위논문주기
학위논문(석사)-- 동아대학교 대학원 : 기계공학과, 2026.2
주기사항
참고문헌: p. 47-49
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청구기호 : 550 안25리
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등록번호 청구기호 별치기호 소장위치 대출상태 반납예정일 서비스
등록번호
E1095716
청구기호
550 안25리
별치기호
D
소장위치
부민학위논문실
대출상태
대출불가 (소장처별 대출 불가)
반납예정일
서비스

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