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040 a221008
041 akorbeng
056 a552.225
245 00 a인공신경망을 활용한 CMP 컨디셔닝에 관한 연구 /d박병훈
260 a부산 :b동아대학교 대학원,c2026
300 aix, 123 p. :b천연색삽화, 도표 ;c26 cm
500 z지도교수: 이현섭
500 j(A) study on cmp conditioning using artificial neural network
502 a학위논문(박사)--b동아대학교 대학원 :c기계공학과,d2026.2
504 a참고문헌: p. 115-121
653 aCMP(Chemical mechanical planarization)a패드컨디셔닝 (Pad conditioning)a연마패드(Polishing pad)a재료제거율(Material removal rate)a패드 프로파일(Pad profile)a다구찌실험계획(Taguchi method)a인공신경망(Artificial neural network)a딥러닝(Deep learning)
700 1 a박병훈
856 adcoll.donga.ac.kruhttp://donga.dcollection.net/common/orgView/200000953082
950 0 a비매품b\0
인공신경망을 활용한 CMP 컨디셔닝에 관한 연구
종류
학위논문 동서
서명
인공신경망을 활용한 CMP 컨디셔닝에 관한 연구
저자명
발행사항
형태사항
ix, 123 p : 천연색삽화, 도표 ; 26 cm
학위논문주기
학위논문(박사)-- 동아대학교 대학원 : 기계공학과, 2026.2
주기사항
참고문헌: p. 115-121
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소장정보

청구기호 : 552.2 박44인
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등록번호 청구기호 별치기호 소장위치 대출상태 반납예정일 서비스
등록번호
E1095674
청구기호
552.2 박44인
별치기호
D
소장위치
부민학위논문실
대출상태
대출불가 (소장처별 대출 불가)
반납예정일
서비스

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