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1 . Academic Journal
Investigations of defect evolution and basal plane dislocation elimination in CVD epitaxial growth of silicon carbide on eutectic etched epilayers
저자
by
Song, Haizheng
;
Rana, Tawhid
;
Sudarshan, Tangali S.
.
소스
In
Journal of Crystal Growth
2011 320(1):95-102
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5 . Academic Journal
Evaluation of a novel unfluorinated copper precursor for chemical vapor deposition
저자
by
Song, Haizheng
;
Norman, John A.T.
;
Shimogaki, Yukihiro
.
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In
Microelectronic Engineering
2010 87(3):249-253
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5 . Academic Journal
Non-linear surface reaction kinetics in GaAs selective area MOVPE
저자
by
Song, Haizheng
;
Wang, Yunpeng
;
Sugiyama, Masakazu
;
Nakano, Yoshiaki
;
Shimogaki, Yukihiro
.
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In
Journal of Crystal Growth
2008 310(23):4731-4735
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RefWorks
7 . Academic Journal
Reactor-scale uniformity of selective-area performance in InGaAsP system
저자
by
Onitsuka, Ryusuke
;
Shioda, Tomonari
;
Song, Haizheng
;
Sugiyama, Masakazu
;
Shimogaki, Yukihiro
, et al.
소스
In
Journal of Crystal Growth
2007 298:59-63
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RefWorks
7 . Academic Journal
Non-linear kinetic analysis on GaAs selective area MOVPE combined with macro-scale analysis to extract major reaction mechanism
저자
by
Song, Haizheng
;
Im, Ik-Tae
;
Sugiyama, Masakazu
;
Nakano, Yoshiaki
;
Shimogaki, Yukihiro
.
소스
In
Journal of Crystal Growth
2007 298:32-36
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RefWorks
7 . Academic Journal
Deposition of Sm 2O 3 doped CeO 2 thin films from Ce(DPM) 4 and Sm(DPM) 3 (DPM=2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato) by aerosol-assisted metal–organic chemical vapor deposition
저자
by
Jiang, Yinzhu
;
Song, Haizheng
;
Ma, Qianli
;
Meng, Guangyao
.
소스
In
Thin Solid Films
2006 510(1):88-94
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RefWorks
6 . Academic Journal
Application of novel aerosol-assisted chemical vapor deposition techniques for SOFC thin films
저자
by
Meng, Guangyao
;
Song, Haizheng
;
Dong, Qiang
;
Peng, Dingkun
.
소스
In
Solid State Ionics
2004 175(1):29-34
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RefWorks
6 . Academic Journal
Preparation of Gd 2O 3 doped CeO 2 thin films by oxy-acetylene combustion assisted aerosol-chemical vapor deposition technique on various substrates and zone model for microstructure
저자
by
Song, Haizheng
;
Xia, Changrong
;
Meng, Guangyao
;
Peng, Dingkun
.
소스
In
Thin Solid Films
2003 434(1):244-249
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RefWorks
6 . Academic Journal
Synthesis and characterization of volatile metal β-diketonate chelates of M(DPM) n (M=Ce, Gd, Y, Zr, n=3,4) used as precursors for MOCVD
저자
by
Song, Haizheng
;
Jiang, Yinzhu
;
Xia, Changrong
;
Meng, Guangyao
;
Peng, Dingkun
.
소스
In
Journal of Crystal Growth
2003 250(3):423-430
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RefWorks
7 . Report
A comparative study of SiC epitaxial growth in vertical hotwall CVD reactor using silane and dichlorosilane precursor gases
저자
by
Rana, Tawhid
;
Chandrashekhar, MVS
;
Song, Haizheng
;
Sudarshan, Tangali S.
.
소스
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