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1 . Academic Journal
Pulsed chemical vapor deposition for crystalline aluminum nitride thin films and buffer layers on silicon and silicon carbide
저자
by
McLeod, Aaron J.
;
Ueda, Scott T.
;
Lee, Ping C.
;
Spiegelman, Jeff
;
Kanjolia, Ravindra
, et al.
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In
Thin Solid Films
1 March 2023 768
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RefWorks
7 . Academic Journal
Tris(dimethylamido)aluminum(III) and N2H4: Ideal precursors for the low-temperature deposition of large grain, oriented c-axis AlN on Si via atomic layer annealing
저자
by
Ueda, Scott T.
;
McLeod, Aaron
;
Alvarez, Dan
;
Moser, Daniel
;
Kanjolia, Ravindra
, et al.
소스
In
Applied Surface Science
15 July 2021 554
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RefWorks
7 . Conference
Reverse Templating Effects of Low-Resistivity Ru ALD on Sputtered Ru
저자
by
Wang, Victor
;
Kuo, Chenghsuan
;
Kanjolia, Ravindra
;
Moinpour, Mansour
;
Woodruff, Jacob
, et al.
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2023 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) and IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (MAM)(IITC/MAM) Advanced Metallization Conference (MAM)(IITC/MAM), 2023 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) and IEEE Materials for. :1-3 May, 2023
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7 . Academic Journal
Optimization and upscaling of spin coating with organosilane monolayers for low-k pore sealing
저자
by
Sun, Yiting
;
Negreira, Ainhoa Romo
;
Meersschaut, Johan
;
Hoflijk, Ilse
;
Vaesen, Inge
, et al.
소스
In
Microelectronic Engineering
5 January 2017 167:32-36
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7 . Conference
Ru ALD With Bulk-Like Resistivity for Interconnects
저자
by
Breeden, Michael
;
Wang, Victor
;
Kanjolia, Ravindra
;
Moinpour, Mansour
;
Woodruff, Jacob
, et al.
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2022 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) Interconnect Technology Conference (IITC), 2022 IEEE International. :120-122 Jun, 2022
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7 . Conference
Promixity Effect of Selective Co ALD on the Nanoscale
저자
by
Breeden, Michael
;
Wolf, Steven
;
Anurag, Ashay
;
Wang, Victor
;
Moser, Daniel
, et al.
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2020 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) Interconnect Technology Conference (IITC),2020 IEEE International. :139-141 Oct, 2020
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RefWorks
7 . Academic Journal
Atomic layer annealing with radio-frequency substrate bias for control of grain morphology in gallium nitride thin films.
저자
by
McLeod, Aaron J.
;
Lee, Ping C.
;
Ueda, Scott T.
;
Devereaux, Zachary J.
;
Winter, Charles H.
, et al.
소스
MRS Bulletin; Nov2023, Vol. 48 Issue 11, p1164-1171, 8p
Web of Science
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7 . Academic Journal
Low-Resistivity Titanium Nitride Thin Films Fabricated by Atomic Layer Deposition with TiCl
4
and Metal–Organic Precursors in Horizontal Vias.
저자
by
Kuo, Cheng-Hsuan
;
Mcleod, Aaron J.
;
Lee, Ping-Che
;
Huang, James
;
Kashyap, Harshil
, et al.
소스
ACS Applied Electronic Materials; 8/22/2023, Vol. 5 Issue 8, p4094-4102, 9p
Full Text (ACS)
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RefWorks
7 . Conference
Single-molecule spectroscopic analysis of adsorption phenomena on colloidal silica abrasives used in chemical-mechanical planarization slurries
저자
by
Jacobson, Lauren M.
;
Schorr, Donald K.
;
Remsen, Edward E.
;
Carver, Colin T.
;
Rawat, Ashwani K.
, et al.
소스
2015 International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT) Planarization/CMP Technology (ICPT), 2015 International Conference on. :1-5 Sep, 2015
Full Text (IEEE)
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RefWorks
7 . Academic Journal
Experimental and theoretical determination of the role of ions in atomic layer annealing.
저자
by
Ueda, Scott T.
;
McLeod, Aaron
;
Jo, Youhwan
;
Zhang, Zichen
;
Spiegelman, Jacob
, et al.
소스
Journal of Materials Chemistry C; 4/14/2022, Vol. 10 Issue 14, p5707-5715, 9p
Full Text (RSC Gold)
Web of Science
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