Bonding Between PDMS and Glass by Solid-Source H2O Plasma / 固体ソースH₂Oプラズマ処理によるPDMSとガラスの接合
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2020, :366
- Subject
13a-PA1-14 H2O Plasma H₂Oプラズマ デバイス・プロセス技術 応用物理学一般 新技術・複合新領域 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613