Structural analysis of AlN hard coating films deposited on high-speed steel substrate / 高速度鋼基板上へ形成したAlN硬質被膜の構造解析
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2018, :1623
- Subject
19a-C103-11 AlN hard coating film nanocomposite ナノコンポジット 新材料・新技術・評価手法など 硬質皮膜 薄膜・表面 薄膜新材料 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613