B doping effects on hardness and film structures of nanocomposite AlBN thin films / ナノコンポジットAlBN薄膜の硬度および膜構造に及ぼすB添加の効果
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2017, :1500
- Subject
8a-PA2-15 hard-coating semiconductor ハードコーティング 半導体 新材料・新技術・評価手法など 薄膜・表面 薄膜新材料 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613