In einsatzgehärteten Stahlbauteilen ist die Feinkornstabilität eine der wichtigsten Eigenschaften des Gefüges, da oftmals ein einzelnes grobes Korn in einer feinkörnigen Matrix genügt, um bei entsprechender Belastung zum vorzeitigen Versagen des Bauteils zu führen. Um den Einfluss von Wärmebehandlungen an kaltumgeformten Bauteilen besser zu verstehen, wurde das einsatzgehärtete Gefüge von 16 verschiedenen Wärmebehandlungskombinationen am Einsatzstahl 20MnCr5 (1.7168) untersucht. Die Prozesskette beeinflusst kornwachstumshemmende Ausscheidungen, die ihrerseits die Feinkornstabilität beeinflussen. Deshalb wurden in zwei Proben Aluminiumnitride in Größenbereichen von ca. 15 bis 250 nm mittels hochauflösender Rasterelektronenmikroskopie in fein- sowie grobkörnigen Bereichen analysiert. Die jeweiligen untersuchten Bereiche hatten eine Fläche von im Durchschnitt 1.250–2.000 μm2. In der statistischen Auswertung ergab sich, dass innerhalb der Proben kein signifikanter Unterschied in der Morphologie und Dichte zwischen Aluminiumnitriden in Fein- und Grobkornbereichen gefunden werden kann. Dafür scheinen mehr Cluster in größeren Körnern aufzutreten. Zudem konnte ein signifikanter Einfluss der Wärmebehandlungen auf die Aluminiumnitride erkannt werden.