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1 . Academic Journal
3P1-1 Sputtering deposition of c-axis parallel oriented ZnO film with limited particle irradiation and resonance property as shear-mode resonator
저자
by
Naoki Tomiyama
;
Shinji Takayanagi
;
Takahiko Yanagitani
.
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Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics. 2023, 44:175
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5 . Academic Journal
3Pb1-2 Effect of particle irradiation direction in magnetron sputtering on piezoelectricity of c-axis parallel oriented ZnO films
저자
by
Naoki Tomiyama
;
Shinji Takayanagi
;
Takahiko Yanagitani
.
소스
Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics. 2022, 43:413
Open Access (JSTAGE)
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RefWorks
5 . Academic Journal
3Pa3-3 c-Axis tilted ScAlN films grown on silicon substrates for surface acoustic wave devices
저자
by
Shinji Takayanagi
;
Takahiko Yanagitani
;
Takumi Tominaga
.
소스
Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics. 2021, 42:3-3
Open Access (JSTAGE)
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RefWorks
5 . Academic Journal
1Pb1-5 Deposition of c-axis parallel oriented ZnO film on rotated silica glass pipe for SH-SAW pipe sensor
저자
by
Shinji Takayanagi
;
Takahiko Yanagitani
;
Takuya Wakabayashi
.
소스
Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics. 2020, 41:1-5
Open Access (JSTAGE)
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RefWorks
5 . Academic Journal
1Pa1-4 Film growth of ZnO with suppressing ion bombardment to substrate during sputtering deposition and effect of piezoelectric property
저자
by
Kohei Tominaga
;
Shinji Takayanagi
;
Takahiko Yanagitani
.
소스
Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics. 2020, 41:1-4
Open Access (JSTAGE)
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RefWorks
5 . Academic Journal
1J2-3 Effect of negative ion bombardment increased in low-pressure sputtering deposition on piezoelectric properties of ScAlN thin films
저자
by
Shinji Takayanagi
;
Takahiko Yanagitani
;
Takumi Tominaga
.
소스
Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics. 2020, 41:1-3
Open Access (JSTAGE)
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RefWorks
5 . Academic Journal
Preliminary Investigation of Magnetic Resonance Imaging Guided Beamforming in Flexible Type Ultrasonic Array Transducers
저자
by
Koki Hasegawa
;
Kengo Namekawa
;
Shinji Takayanagi
;
Iwaki Akiyama
.
소스
Frontiers in Physics, Vol 9 (2021)
Open Access (DOAJ)
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RefWorks
6 . Academic Journal
Characterization of TiO2 thin film photocatalyst prepared by rf-magnetron sputtering / マグネトロンスパッタにより作製した酸化チタン薄膜の結晶構造及び光学・電子物性の評価
저자
by
Kesuke Gotoh
;
Koji Abe
;
Mitsuhiro Honda
;
Rahul Deshmukh
;
Shinji Takayanagi
, et al.
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JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2019, :4025
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RefWorks
7 . Academic Journal
Control of Hydroxyapatite crystal orientation by sputtering / スパッタリング法を用いたHAp 結晶の配向制御
저자
by
Mami Matsukawa
;
Shinji Takayanagi
;
Tomoya Oda
;
Tsukasa Nakamura
;
中村 司
, et al.
소스
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2019, :1853
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RefWorks
7 . Academic Journal
Film Growth of Highly-Piezoelectric ScAlN Based on Measurement of Negative Ion Bombardment during Sputtering Deposition / スパッタ成膜中の負イオン照射測定に基づいた高圧電性ScAlN薄膜の形成
저자
by
Kohei Tominaga
;
Shinji Takayanagi
;
Takahiko Yanagitani
;
富永 浩平
;
柳谷 隆彦
, et al.
소스
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2019, :370
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