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1 . Academic Journal
1004 lmprovenient of PZT thin nlms for the applications to the vibration energy harvester / 1004 圧電MEMS振動発電素子用PZT薄膜の特性向上(OS7 オーガナイズドセッション《精密/微細加工と評価,マイクロ・ナノ工学》)
저자
by
Hiroshi Hunakubo
;
Natsumi Makimoto
;
Ryutarou Maeda
;
Takeru Kobayashi
;
Yasuhiro Suzuki
, et al.
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The Proceedings of Ibaraki District Conference. 2013, :227
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RefWorks
7 . Academic Journal
Size-free MEMS-IC Integration by using C2W self-alignment and temporary bonding / サイズフリーMEMS-IC集積化のためのC2Wセルフアライメントと仮接合
저자
by
Hideki Takagi
;
Hironori Hayase
;
Jian Lu
;
Ryutarou Maeda
;
Yuta Nakano
, et al.
소스
Proceedings of JIEP Annual Meeting. 2013, :248
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RefWorks
7 . Academic Journal
Hermetic Sealing using Surface Activated Bonding Method / 表面活性化常温接合法による封止接合(第3報)
저자
by
Hideki Takagi
;
Hironao Okada
;
Howlader M.M.R.
;
M.M.R.Howlader
;
Ryutarou Maeda
, et al.
소스
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2003, :122
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RefWorks
7 . Academic Journal
疎水性単分子膜を用いたシリコンチップのセルフアライメント
저자
by
Hideki Takagi
;
Jian Lu
;
Masanori Hayase
;
Ryutarou Maeda
;
Yuta Nakano
, et al.
소스
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2012, :1091
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7 . Academic Journal
MEMSの商業化技術(キーノートスピーチ)
저자
by
Ryutarou Maeda
;
前田 龍太郎
.
소스
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2007, :547
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4 . Academic Journal
Preparation of HfO2 thin films deposited by sol-gel method / Sol-gel法によるHfO2薄膜の作製
저자
by
Hiroyuki Kokawa
;
Ryutarou Maeda
;
Toshihide Kumagai
;
Zhan Jie Wang
;
前田 龍太郎
, et al.
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Preprints of the National Meeting of JWS. 2004, :68
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7 . Academic Journal
Microstructure of in situ grown PZT films prepared by hybrid processing: sol-gel method and PLD / Sol-gel / PLD複合プロセスにおける PZT薄膜のin situ成長とその微細組織
저자
by
Hiroyuki KOKAWA
;
Lijun YAN
;
Ryutarou MAEDA
;
Zhan Jie WANG
;
ヤン 利均
, et al.
소스
Preprints of the National Meeting of JWS. 2004, :13
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7 . Academic Journal
Effect of Zr/Ti ratio in targets on microstructure of PZT thin films prepared by hybrid processing: sol-gel method and PLD / Sol-gel / PLD複合プロセスで作製したPZT薄膜の微細組織に及ぼすZr/Ti組成の影響
저자
by
Hiroyuki KOKAWA
;
Ryutarou MAEDA
;
Yuki AOKI
;
Zhan Jie WANG
;
前田 龍太郎
, et al.
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Preprints of the National Meeting of JWS. 2004, :14
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7 . Academic Journal
Influence of Annealing Temperature on Electrical Properties of PZT Thin Films Derived by hybrid processing / ハイブリッドプロセスで作製したPZT薄膜の電気的特性に及ぼすアニール温度の影響
저자
by
Hiroyuki Kokawa
;
Lijun Yan
;
Ryutarou Maeda
;
Yuki Aoki
;
Zhanjie Wang
, et al.
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Preprints of the National Meeting of JWS. 2003, :450
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RefWorks
7 . Academic Journal
Effect of Zr/Ti ratio on Electrical Properties of PZT Thin Films Derived by Sol-gel Method / ゾルーゲル法で作製したPZT薄膜のZr/Ti組成と電気的特性
저자
by
Hiroyuki Kokawa
;
Ryutarou Maeda
;
Yuki Aoki
;
Zhanjie Wang
;
前田 龍太郎
, et al.
소스
Preprints of the National Meeting of JWS. 2003, :451
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