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1 .
Increased productivity of repair verification by offline analysis of aerial images
저자
by
Thomas Scheruebl
;
Hiroyuki Miyashita
;
Ernesto Villa
;
Luca Sartelli
;
Rigo Richter
, et al.
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SPIE Proceedings
.
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RefWorks
7 .
AIMS mask qualification for 32nm node
저자
by
Rigo Richter
;
Ulrich Stroessner
;
Thomas Thaler
;
Holger Seitz
;
Thomas Scheruebl
.
소스
SPIE Proceedings
.
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RefWorks
7 .
The imaging performance of flash memory masks characterized with AIMS
저자
by
Onno Wismans
;
Jo Finders
;
Thomas Scherübl
;
Mircea Dusa
;
Kees Grim
, et al.
소스
SPIE Proceedings
.
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RefWorks
7 .
Semi-automated repair verification of aerial images
저자
by
Thomas Schereubl
;
Eric Poortinga
;
Rigo Richter
.
소스
SPIE Proceedings
.
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RefWorks
5 .
AIMS and resist simulation
저자
by
Thomas Scherübl
;
Rigo Richter
;
Holger Seitz
;
Ulrich Dr. Strößner
;
Robert Birkner
.
소스
Photomask Technology 2008
.
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RefWorks
7 .
Wafer level CD metrology on photomasks using aerial imaging technology
저자
by
Ulrich Dr. Strößner
;
Robert Birkner
;
Rigo Richter
;
Thomas Scherübl
;
Holger Seitz
.
소스
SPIE Proceedings
.
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RefWorks
7 .
Characterizing the imaging performance of flash memory masks using AIMS
저자
by
Jo Finders
;
Onno Wismans
;
Rigo Richter
;
Robert Birkner
;
Eelco van Setten
, et al.
소스
SPIE Proceedings
.
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RefWorks
7 .
The flash memory battle: How low can we go?
저자
by
Robert Birkner
;
Kees Grim
;
Jo Finders
;
Eelco van Setten
;
Mircea Dusa
, et al.
소스
Optical Microlithography XXI
.
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RefWorks
7 .
Pupil plane analysis on AIMS 45-193i for advanced photomasks
저자
by
Naoya Hayashi
;
Takanori Sutou
;
Kei Mesuda
;
Yuichi Inazuki
;
Ulrich Stroessner
, et al.
소스
SPIE Proceedings
.
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RefWorks
7 .
Programmed defects study on masks for 45nm immersion lithography using the novel AIMS 45-193i
저자
by
Thomas Scherübl
;
Ulrich Dr. Strößner
;
Robert Birkner
;
Klaus Böhm
;
Arndt C. Dürr
, et al.
소스
23rd European Mask and Lithography Conference
.
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