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1 . Periodical
Study of high throughput EUV mask pattern inspection technologies using multi e-Beam optics
저자
by
Ando, Akihiko
;
Sugimori, Tadayuki
;
Ogawa, Riki
;
Takekoshi, Hidekazu
;
Hartley, John G.
, et al.
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Proceedings of SPIE; August 2021, Vol. 11908 Issue: 1 p119080J-119080J-9, 1071730p
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RefWorks
7 . Periodical
Study of high throughput EUV mask pattern defect inspection technologies using multibeam electron optics
저자
by
Adan, Ofer
;
Robinson, John C.
;
Takekoshi, Hidekazu
;
Ogawa, Riki
;
Hartley, John G.
, et al.
소스
Proceedings of SPIE; February 2021, Vol. 11611 Issue: 1 p116112N-116112N-8, 1045017p
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RefWorks
7 . Conference
Study of advanced mask inspection optics with super-resolution method for next-generation mask fabrication.
저자
by
Hirano, Ryoichi
;
Hirono, Masatoshi
;
Ogawa, Riki
;
Kikuiri, Nobutaka
;
Takahara, Kenichi
, et al.
소스
Proceedings of SPIE; Nov2009 Part 2, Issue 1, p72722A-72722A-8, 8p
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RefWorks
7 . Conference
Development of advanced mask inspection optics with transmitted and reflected light image acquisition.
저자
by
Hirano, Ryoichi
;
Ogawa, Riki
;
Suzuki, Hitoshi
;
Takahara, Kenichi
;
Tsuji, Yoshitake
, et al.
소스
Proceedings of SPIE; Nov2007 Part 2, Issue 1, p65181U-65181U-8, 8p
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RefWorks
7 . Conference
Development of a captured image simulator for 199 nm mask inspection tools.
저자
by
Shiratsuchi, Masataka
;
Honguh, Yoshinori
;
Hirano, Ryoichi
;
Ogawa, Riki
.
소스
Proceedings of SPIE; Nov2007 Part 2, Issue 1, p66072J-66072J-9, 9p
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RefWorks
6 . Conference
Development of a captured image simulator for the differential interference contrast microscopes aiming to design 199 nm mask inspection tools.
저자
by
Shiratsuchi, Masataka
;
Honguh, Yoshinori
;
Hirano, Ryoichi
;
Ogawa, Riki
;
Hirono, Masatoshi
, et al.
소스
Proceedings of SPIE; Nov2007 Part 2, Issue 1, p67304W-67304W-11, 11p
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7 . Conference
257-nm wavelength mask inspection for 65-nm node reticles.
저자
by
Yoshikawa, Ryoji
;
Tanizaki, Hiroyuki
;
Watanabe, Tomohide
;
Inoue, Hiromu
;
Ogawa, Riki
, et al.
소스
Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p313-319, 7p
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RefWorks
7 . Conference
Advanced mask inspection optical system (AMOS) using 198.5-nm wavelength for 65-nm (hp) node and beyond: system development and initial state D/D inspection performance.
저자
by
Tojo, Toru
;
Hirano, Ryoich
;
Tsuchiya, Hideo
;
Oaki, Junji
;
Nishizaka, Takeshi
, et al.
소스
Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p1011-1023, 13p
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7 . Conference
Characteristics of an autofocus system on a grating with period smaller than the focus-beam wavelength.
저자
by
Ogawa, Riki
;
Sugihara, Shinji
;
Honguh, Yoshinori
;
Nagahama, Hiroyuki
;
Watanabe, Toshiyuki
, et al.
소스
Proceedings of SPIE; Nov2003, Issue 1, p965-972, 8p
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7 . Periodical
DUV inspection tool application for beyond optical resolution limit pattern
저자
by
Hayashi, Naoya
;
Kasprowicz, Bryan S.
;
Inoue, Hiromu
;
Kikuiri, Nobutaka
;
Tsuchiya, Hideo
, et al.
소스
Proceedings of SPIE; October 2015, Vol. 9635 Issue: 1 p96350R-96350R-7, 867158p
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