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1 . Academic Journal
Demonstration of Self-limiting Characteristics and Selectivity Control in Annealing Steps for Rapid Thermal-Cyclic ALE / 高速熱サイクルALEのランプ加熱工程におけるSelf-limiting特性およびW/TiN選択性制御
저자
by
Hiroyuki Kobayashi
;
Kazunori Shinoda
;
Kenji Ishikawa
;
Kohei Kawamura
;
Masaru Hori
, et al.
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JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2018, :1734
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RefWorks
7 . Academic Journal
IoT時代のプラズマ微細加工技術 / Plasma etching technology of ULSI devices in IoT
저자
by
Hiroyuki Kobayashi
;
Kazunori Shinoda
;
Kenji Ishikawa
;
Masaru Hori
;
Masaru Izawa
, et al.
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JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2018, :1965
Open Access (JSTAGE)
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RefWorks
7 . Academic Journal
Rapid Thermal Cyclic Atomic-Level Etching of Tungsten / プラズマと熱サイクルを用いたタングステンの原子層レベルエッチング
저자
by
Hiroyuki Kobayashi
;
Kazunori Shinoda
;
Kenji Ishikawa
;
Kohei Kawamura
;
Masaru Hori
, et al.
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JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2018, :1850
Open Access (JSTAGE)
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RefWorks
7 . Academic Journal
Atomic Layer Etching of TiN Using Formation and Desorption of Modified Layer / 表面反応層の生成と熱脱離を用いたTiNの原子層レベルエッチング
저자
by
Hiroyuki Kobayashi
;
Kazunori Shinoda
;
Kenji Ishikawa
;
Masaru Hori
;
Masaru Izawa
, et al.
소스
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2016, :1694
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RefWorks
7 . Academic Journal
Selective Cyclic Etching of SiN Using Infrared Irradiation / 赤外光照射によるSiNの高選択サイクルエッチング
저자
by
Hiroyuki Kobayashi
;
Kazunori Shinoda
;
Kenji Maeda
;
Masaru Izawa
;
Nobuya Miyoshi
, et al.
소스
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2015, :1664
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7 . Academic Journal
J053033 Scattering Behavior of Water Molecules on Graphite Surface / J053033 グラファイト表面における水分子の散乱挙動の解析(〔J053-03〕マイクロ・ナノスケールの熱流体現象(3))
저자
by
Ikuya KINEFUCHI
;
Kenichi OSUKA
;
Nobuya MIYOSHI
;
Shohei HODOTA
;
Shu TAKAGI
, et al.
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The Proceedings of Mechanical Engineering Congress, Japan. 2013, 1
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RefWorks
7 . Academic Journal
J053012 Measurements of Time-of-Flight Distributions of Shock-heated Molecular Beams / J053012 衝撃波加熱分子線の飛行時間分布計測
저자
by
Ikuya KINEFUCHI
;
Kenichi OSUKA
;
Nobuya MIYOSHI
;
Shu TAKAGI
;
Yoichiro MATSUMOTO
, et al.
소스
The Proceedings of Mechanical Engineering Congress, Japan. 2012, 1
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RefWorks
7 . Academic Journal
J053013 Investigation of water-graphite interaction using molecular beam technique / J053013 分子線法による水分子-グラファイト表面間相互作用の解明
저자
by
Ikuya KINEFUCHI
;
Kenichi OSUKA
;
Nobuya MIYOSHI
;
Shu TAKAGI
;
Yoichiro MATSUMOTO
, et al.
소스
The Proceedings of Mechanical Engineering Congress, Japan. 2012, 1
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RefWorks
7 . Academic Journal
Development of High-Energy Molecular Beam Source Using Small Shock Tube / 小型衝撃波管を用いた高エネルギー分子線源の開発
저자
by
Ikuya KINEFUCHI
;
Kenichi OSUKA
;
Nobuya MIYOSHI
;
Shu TAKAGI
;
Yoichiro MATSUMOTO
, et al.
소스
日本機械学会論文集B編 / TRANSACTIONS OF THE JAPAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS Series B. 2013, 79(798):140
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RefWorks
7 . Academic Journal
G0500-5-4 Optimization of an Ultra Small Shock Tube for High-Energy Molecular Beam Source : Evaluation of Convergent Type Design / G0500-5-4 高エネルギー分子線源に用いる超小型衝撃波管の動作特性の最適化 : 断面収縮形状の評価([G0500-5]流体工学部門一般講演(5))
저자
by
Ikuya KINEFUCHI
;
Katsuhito MIHASHI
;
Kazuya SHIMIZU
;
Nobuya MIYOSHI
;
Shu TAKAGI
, et al.
소스
The proceedings of the JSME annual meeting. 2010, :303
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