공지
예치금 반환 재안내
도서관 자료실 휴실 안내(10. 1., 10. 3., 10. 9.)
2024학년도 도서관 전자정보박람회 경품 추첨 결과 및 수령 안내
2024학년도 2학기 도서관 정보활용교육 안내
학술 생성형 AI 서비스 「tlooto」 시범 운영 안내
이전
다음
오늘 하루 닫기
공지사항 닫기
DAU Library
중앙도서관
동아대학교
로그인
교외접속
OFF
ENG
검색창 열기
검색"
자료검색
통합검색
소장자료
학술논문
전자저널
학술DB
온라인 강좌
e-Learning
INSPIRE
KOCW
해외OCW/MOOC 리스트
전자책
컬렉션
신착도서
인기도서
추천도서
청춘의 책탑
북 카드뉴스
연구도서
연구학습지원
학술지평가정보
학과별 주제 가이드
표절예방/연구윤리
참고문헌 관리
학위논문 제출
원문복사/상호대차
신청 안내
의학, 간호학 학술지 신청
의학, 간호학 학위논문 신청
신청 현황 조회
이용교육
이용교육 안내
이용교육 신청
그룹교육 신청
도서관 서비스
자료 이용
대출/재대출/반납
캠퍼스간 대출
희망도서 신청
보존서고자료 신청
우선정리 신청
시설 이용
그룹스터디실 이용
열람실 이용
타기관 이용(자료열람)
타기관 이용(자료열람) 가이드
타기관 이용(자료열람) 신청
타교 자료열람 신청 조회
타기관 이용(열람실 이용)
타기관 이용(열람실 이용) 가이드
타기관 이용(열람실 이용) 신청
타기관 이용(열람실 이용) 조회
이용자별 서비스
학부생
대학원생
교직원
특별회원
기타
모바일 서비스
모바일 홈페이지
모바일 좌석배정
모바일 이용증
무선랜 안내
교외접속 서비스
서비스 찾기
도서관 안내
도서관 소개
개요
도서관 연혁
도서관 현황
규정
조직도 및 구성원
도서관 이용시간
층별 안내
자료 기증
기증 안내
기증자 목록
사이버 기증 문고
찾아오시는 길
커뮤니티
공지사항(일반)
공지사항(학술DB)
Q&A
Q&A
FAQ
서평쓰기
동아인 우수서평
행사 후기
각종 서식자료
홈페이지 오류문의
My Library
대출/재대출/예약 조회
대출 및 재대출
대출 기록
캠퍼스간 대출 기록
신청자료 조회
희망도서 신청 조회
보존서고자료 신청 조회
우선정리 신청 조회
서가부재도서 신청 조회
원문복사 신청 조회
그룹스터디실 신청 조회
이용교육 신청 조회
타기관 이용 조회
타교 자료열람 신청 조회
타교 열람실 신청 조회
내 서재
나의 서평
개인정보관리
개인정보관리
개인공지사항
자주 찾는 메뉴
대출 및 재대출
내 서재
FAQ
홈페이지 오류문의
메뉴 전체보기
학술논문
Home
>
자료검색
>
학술논문
>
통합검색
소장자료
학술논문
전자저널
전체
ISSN
논문 제목
저널명
저자
엡스코 구버전 바로가기
발행년도
-
(예 : 2010-2015)
'
학술논문
' 에서의 검색결과
21
건 | 목록
1~10
전체선택
Relevance
Date Newest
Date Oldest
5
10
20
30
40
50
E-Mail
EndNote
RefWorks
1 . Academic Journal
Optimization of Plasma Etching Profile Utilizing Machine Learning / プラズマエッチング形状最適化への機械学習応用
저자
by
Hyakka Nakada
;
Masaru Kurihara
;
Masayoshi Ishikawa
;
Naoyuki Kofuji
;
Takeshi Ohmori
, et al.
소스
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2018, :133
Open Access (JSTAGE)
Find it @ DONGA
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
7 .
Evaluation of TiN hardmask films to prevent line wiggling due to plasma-induced film stress
저자
by
Amelia Turnquist
;
Naoyuki Kofuji
;
Joseph Sebastian
;
Zecheng Liu
;
Hiroshi Kou
, et al.
소스
Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning XII
.
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
7 .
Etch developments in response to DSA challenges
저자
by
Makoto Satake
;
Luis Reyes
;
Naoyuki Kofuji
;
Jonathan Laib
;
Amelia Turnquist
.
소스
Novel Patterning Technologies 2021
.
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
7 .
Increase of space width roughness in directed self-assembly patterning arising from shrinking stress in the remaining poly(methyl methacrylate)
저자
by
Kenji Maeda
;
Makoto Satake
;
Naoyuki Kofuji
.
소스
Journal of Vacuum Science & Technology B
. 37:051208
Web of Science
Scopus
JCR 저널정보
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
5 .
Deposition profile of ammonium bromide in N2/HBr plasmas for high-aspect-ratio multilayer etching
저자
by
Masahito Mori
;
Naoyuki Kofuji
;
Taku Iwase
;
Kenetsu Yokogawa
.
소스
Japanese Journal of Applied Physics
. 58:SEEB04
Full Text (IOP)
Web of Science
Scopus
JCR 저널정보
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
6 . Academic Journal
Deposition profile of ammonium bromide in N2/HBr plasmas for high-aspect-ratio multilayer etching.
저자
by
Taku Iwase
;
Naoyuki Kofuji
;
Kenetsu Yokogawa
;
Masahito Mori
.
소스
Japanese Journal of Applied Physics; 6/3/2019, Vol. 58 Issue SE, p1-1, 1p
Full Text (IOP)
Web of Science
Scopus
JCR 저널정보
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
6 .
Uniform lateral etching of tungsten in deep trenches utilizing reaction-limited NF3plasma process
저자
by
Naoyuki Kofuji
;
Masahito Mori
;
Nishida Toshiaki
.
소스
Japanese Journal of Applied Physics
. 56:06HB05
Full Text (IOP)
Web of Science
Scopus
JCR 저널정보
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
5 .
Near-surface interactions and their etching-reaction model in metal plasma-assisted etching
저자
by
Masaru Izawa
;
Kazunori Tsujimoto
;
Masayuki Kojima
;
Shinichi Tachi
;
Ryoji Hamasaki
, et al.
소스
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
. 16:250-259
Web of Science
Scopus
JCR 저널정보
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
7 .
Short‐gas‐residence‐time electron cyclotron resonance plasma etching
저자
by
Takao Kumihashi
;
Shinichi Tachi
;
Kazunori Tsujimoto
;
Naoyuki Kofuji
.
소스
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
. 12:1209-1215
Web of Science
Scopus
JCR 저널정보
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
6 .
Mechanism of Mask Distortion during Resist Trimming
저자
by
H. Miura
;
Naoyuki Kofuji
.
소스
Extended Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials
.
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
1
2
3
다음
메일 발송
로그인후 이용해주세요.
이동하기
전체 메뉴 보기
전체메뉴 닫기
자료검색
통합검색
소장자료
학술논문
전자저널
학술DB
온라인 강좌
e-Learning
INSPIRE
KOCW
해외OCW/MOOC 리스트
전자책
컬렉션
신착도서
인기도서
추천도서
청춘의 책탑
북 카드뉴스
연구도서
연구학습지원
학술지평가정보
학과별 주제 가이드
표절예방/연구윤리
참고문헌 관리
학위논문 제출
원문복사/상호대차
신청 안내
의학, 간호학 학술지 신청
의학, 간호학 학위논문 신청
신청 현황 조회
이용교육
이용교육 안내
이용교육 신청
그룹교육 신청
도서관 서비스
자료 이용
대출/재대출/반납
캠퍼스간 대출
희망도서 신청
보존서고자료 신청
우선정리 신청
시설 이용
그룹스터디실 이용
열람실 이용
타기관 이용(자료열람)
타기관 이용(자료열람) 가이드
타기관 이용(자료열람) 신청
타교 자료열람 신청 조회
타기관 이용(열람실 이용)
타기관 이용(열람실 이용) 가이드
타기관 이용(열람실 이용) 신청
타기관 이용(열람실 이용) 조회
이용자별 서비스
학부생
대학원생
교직원
특별회원
기타
모바일 서비스
모바일 홈페이지
모바일 좌석배정
모바일 이용증
무선랜 안내
교외접속 서비스
서비스 찾기
도서관 안내
도서관 소개
개요
도서관 연혁
도서관 현황
규정
조직도 및 구성원
도서관 이용시간
층별 안내
자료 기증
기증 안내
기증자 목록
사이버 기증 문고
찾아오시는 길
커뮤니티
공지사항(일반)
공지사항(학술DB)
Q&A
Q&A
FAQ
서평쓰기
동아인 우수서평
행사 후기
각종 서식자료
홈페이지 오류문의
My Library
대출/재대출/예약 조회
대출 및 재대출
대출 기록
캠퍼스간 대출 기록
신청자료 조회
희망도서 신청 조회
보존서고자료 신청 조회
우선정리 신청 조회
서가부재도서 신청 조회
원문복사 신청 조회
그룹스터디실 신청 조회
이용교육 신청 조회
타기관 이용 조회
타교 자료열람 신청 조회
타교 열람실 신청 조회
내 서재
나의 서평
개인정보관리
개인정보관리
개인공지사항