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1 . Conference
Carbon nanowalls for sustainable future
저자
by
Masaru HORI
;
Hiroki KONDO
;
Kenji ISHIKAWA
;
Keigo TAKEDA
;
Makoto SEKINE
, et al.
소스
한국진공학회 학술발표회초록집
. 2016-08 2016(8):36-36
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RefWorks
7 . Conference
Plasma etching of gallium nitride at high temperature
저자
by
Zecheng LIU
;
Keigo TAKEDA
;
Hiroki KONDO
;
Kenji ISHIKAWA
;
Makoto SEKINE
, et al.
소스
한국진공학회 학술발표회초록집
. 2016-08 2016(8):1255-1255
Full Text (DBPIA)
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RefWorks
7 . Conference
Latent chemistry in plasma activated medium (PAM)
저자
by
Kenji ISHIKAWA
;
Naoyuki KURAKE
;
Hiromasa TANAKA
;
Hiroko MIZUNO
;
Hiroshi HASHIZUME
, et al.
소스
한국진공학회 학술발표회초록집
. 2016-08 2016(8):252-252
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RefWorks
7 . Conference
Advanced Surface Engineering on Material Processing Employing Ultrahigh Density Atmospheric Pressure Plasma
저자
by
Masaru Hori
;
Keigo Takeda
;
Hiroki Kondo
;
Kenji Ishikawa
;
Makoto Sekine
.
소스
한국표면공학회 학술발표회 초록집
. 2013-11 2013(11):138-138
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RefWorks
7 . Conference
Deposition Profile Control of Carbon Films on the Surface of Fine Structures using Plasma CVD
저자
by
Kzunori Koga
;
Takuya Nomura
;
Masaharu Shiratani
;
Yuichi Setsuhara
;
Makoto Sekine
, et al.
소스
한국표면공학회 학술발표회 초록집
. 2010-11 2010(11):194-195
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RefWorks
7 . Conference
Quantitative Measuring of Damage on Porous SiOCH by H2/N2 Plasma Ashing Process
저자
by
Hiroshi Yamamoto
;
Keigo Takeda
;
Makoto Sekine
;
Masaru Hori
.
소스
한국표면공학회 학술발표회 초록집
. 2008-06 2008(6):573-573
Full Text (DBPIA)
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RefWorks
6 . Conference
Control of Deposition Profile of Hard Carbon Films on Substrates Having Trenches
저자
by
Jun Umetsu
;
Kazunori Koga
;
Yuichi Setsuhara
;
Makoto Sekine
;
Masaru Hori
, et al.
소스
한국표면공학회 학술발표회 초록집
. 2008-06 2008(6):222-222
Full Text (DBPIA)
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RefWorks
7 . Academic Journal
Analysis of the Dispersion of Electrical Parameters and Characteristics of FinFET Devices
저자
by
Arkadiusz Malinowski
;
Daniel Tomaszewski
;
Lidia Łukasiak
;
Andrzej Jakubowski
;
Makoto Sekine
, et al.
소스
Journal of Telecommunications and Information Technology, Iss 4 (2023)
Open Access (DOAJ)
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RefWorks
7 . Academic Journal
Ar ion energy dependence on characteristics of atomic layer etching for GaN by Cl adsorption / 塩素吸着を用いた窒化ガリウムの原子層エッチングプロセス特性のArイオンエネルギー依存性
저자
by
Atsushi Tanide
;
Hiroki Kondo
;
Kenji Ishikawa
;
Makoto Sekine
;
Masaki Hasegawa
, et al.
소스
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2021, :1552
Open Access (JSTAGE)
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RefWorks
7 . Academic Journal
Effects of radicals on nanographene synthesis using liquid plasma [II] / 液中プラズマを用いたナノグラフェン合成における活性種の効果[II]
저자
by
Hiroki Kondo
;
Kenji Ishikawa
;
Makoto Sekine
;
Masaru Hori
;
Ryo Hamaji
, et al.
소스
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2021, :1496
Open Access (JSTAGE)
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