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1 . Academic Journal
Effect of Target Materials on Deposition of Nitride Films by rf Reactive Magnetron Sputtering / 高周波反応性スパッタリング法による窒化物薄膜作製プロセスにおよぼすターゲット金属の影響
저자
by
Futami Okada
;
Keiji Koterazawa
;
Shozo Inoue
;
井上 尚三
;
小寺澤 啓司
, et al.
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2002, :430
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RefWorks
7 . Academic Journal
Ti-Ni thin film actuated MEMS probe card / Ti-Ni薄膜を用いた狭ピッチMEMSプローブカードの開発
저자
by
Keiji Koterazawa
;
Shozo Inoue
;
Takahiro Namazu
;
Youichi Tashiro
;
井上 尚三
, et al.
소스
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2004, :294
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RefWorks
7 . Academic Journal
Mechanical Characterization of Micro-Scale UV-LIGA Ni Films by XRD Tensile Test for Reliable Design of MEMS / X線回折援用引張試験によるUV-LIGA NiのMEMS設計パラメータの導出
저자
by
Keiji Koterazawa
;
Masaaki Ishibuchi
;
Shozo Inoue
;
Tadashi Hattori
;
Takahiro Namazu
, et al.
소스
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2004, :288
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RefWorks
7 . Academic Journal
Mechanical Property Evaluation of Poly-crystallne TiN Films by XRD Tensile Test for Surface Modification in MEMS / X線回折援用引張り試験法によるMEMS被覆用多結晶TiN膜の力学特性評価
저자
by
Daisuke Ano
;
Keiji Koterazawa
;
Shozo Inoue
;
Takahiro Namazu
;
井上 尚三
, et al.
소스
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2004, :484
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RefWorks
7 . Academic Journal
Characterization of Shape Memory Behavior of Ti-Ni Alloy Thin Films Prepared by dc Magnetron Sputtering / スパッタリング法によるTi-Ni形状記憶合金薄膜の作製とその形状記憶特性の評価
저자
by
Akihiro Hirayama
;
Keiji Koterazawa
;
Shozo Inoue
;
Takahiro Namazu
;
Yusuke Ozawa
, et al.
소스
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2004, :440
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RefWorks
7 . Academic Journal
Ion–Assisted Film Growth by dc Unbalanced Magnetron Sputtering / 非平衡マグネトロンスパッタリング法によるイオンアシスト薄膜成長
저자
by
Keiji Koterazawa
;
Shozo Inoue
;
Takahiro Namazu
;
Toshiaki Saeki
;
井上 尚三
, et al.
소스
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2006, :647
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RefWorks
7 . Academic Journal
Characterization of a-SiC Films Prepared by Dual Source dc Magnetron Sputtering / 二源直流マグネトロンスパッタリング法によるa-SiC薄膜の作製と評価
저자
by
Hiroyoshi Tawa
;
Keiji Koterazawa
;
Shozo Inoue
;
Takahiro Namazu
;
井上 尚三
, et al.
소스
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2003, :565
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RefWorks
7 . Academic Journal
Novel Structured Film Growth by Glancing Angle Sputter Deposition / 斜入射スパッタリング法による特異な構造を有する薄膜の形成
저자
by
Keiji Koterazawa
;
Ryota Ohchi
;
Shozo Inoue
;
Takahiro Namazu
;
井上 尚三
, et al.
소스
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2005, :318
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7 . Academic Journal
Effect of Annealing Temperature on Shape Memory Behavior of Ti-Ni Alloy Thin Films Prepared by dc Magnetron Sputtering / スパッタリング法によって作製したTi-Ni合金薄膜の形状記憶特性におよぼす熱処理温度の影響
저자
by
Keiji Koterazawa
;
Shozo Inoue
;
Takahiro Namazu
;
Yuusuke Ozawa
;
井上 尚三
, et al.
소스
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2004, :396
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RefWorks
7 . Academic Journal
Fabrication of Ti-Ni Shape Memory Alloy Films by Unbalanced Magnetron Sputtering and Their Joule Heat Induced Shape Memory Behavior / 非平衡スパッタリング法による Ti-Ni 形状記憶合金薄膜の作製とその通電加熱に伴う形状記憶挙動
저자
by
Keiji KOTERAZAWA
;
Shozo INOUE
;
Takahiro NAMAZU
;
井上 尚三
;
小寺澤 啓司
, et al.
소스
Journal of the Vacuum Society of Japan. 2008, 51(5):312
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