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1 . Academic Journal
Oxidation state of cobalt oxide in thermal-cyclic atomic layer etching of cobalt by plasma oxidation and organometallization
저자
by
Sumiko Fujisaki
;
Yoshihide Yamaguchi
;
Hiroyuki Kobayashi
;
Kazunori Shinoda
;
Masaki Yamada
, et al.
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AIP Advances, Vol 14, Iss 4, Pp 045321-045321-9 (2024)
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7 . Academic Journal
Dry etching of ternary metal carbide TiAlC via surface modification using floating wire-assisted vapor plasma
저자
by
Thi-Thuy-Nga Nguyen
;
Kazunori Shinoda
;
Hirotaka Hamamura
;
Kenji Maeda
;
Kenetsu Yokogawa
, et al.
소스
Scientific Reports, Vol 12, Iss 1, Pp 1-13 (2022)
Open Access (DOAJ)
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RefWorks
7 . Academic Journal
Cyclic Etching of Cobalt via Oxide and Organometallic Complex / 酸化物と有機金属錯体を経由したコバルトのサイクルエッチング
저자
by
Hirotaka Hamamura
;
Hiroto Otake
;
Hiroyuki Kobayashi
;
Kazunori Shinoda
;
Kohei Kawamura
, et al.
소스
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2019, :1830
Open Access (JSTAGE)
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7 . Academic Journal
Recent trends in semiconductor manufacturing and atomic layer etching / 半導体加工の先端課題と原子層エッチング技術
저자
by
Kazunori Shinoda
;
篠田 和典
.
소스
Abstract book of Annual Meeting of the Japan Society of Vacuum and Surface Science. 2019, :1
Open Access (JSTAGE)
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4 . Academic Journal
Selective Cyclic Etching of Lanthanum Oxide Using Formation and Desorption of Organo-Lanthanum Complex / 有機錯体生成と錯体熱脱離を用いた酸化ランタンの選択的サイクルエッチング
저자
by
Kazunori Shinoda
;
Kohei Kawamura
;
Masaru Izawa
;
Sumiko Fujisaki
;
Yoshihide Yamaguchi
, et al.
소스
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2018, :1733
Open Access (JSTAGE)
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RefWorks
7 . Academic Journal
Demonstration of Self-limiting Characteristics and Selectivity Control in Annealing Steps for Rapid Thermal-Cyclic ALE / 高速熱サイクルALEのランプ加熱工程におけるSelf-limiting特性およびW/TiN選択性制御
저자
by
Hiroyuki Kobayashi
;
Kazunori Shinoda
;
Kenji Ishikawa
;
Kohei Kawamura
;
Masaru Hori
, et al.
소스
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2018, :1734
Open Access (JSTAGE)
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RefWorks
7 . Academic Journal
IoT時代のプラズマ微細加工技術 / Plasma etching technology of ULSI devices in IoT
저자
by
Hiroyuki Kobayashi
;
Kazunori Shinoda
;
Kenji Ishikawa
;
Masaru Hori
;
Masaru Izawa
, et al.
소스
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2018, :1965
Open Access (JSTAGE)
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RefWorks
7 . Academic Journal
Rapid Thermal Cyclic Atomic-Level Etching of Tungsten / プラズマと熱サイクルを用いたタングステンの原子層レベルエッチング
저자
by
Hiroyuki Kobayashi
;
Kazunori Shinoda
;
Kenji Ishikawa
;
Kohei Kawamura
;
Masaru Hori
, et al.
소스
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2018, :1850
Open Access (JSTAGE)
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7 . Academic Journal
Thermal Dry Etching Method for Lanthanum Oxide by using Surface Modification with Organometallic Complex / 有機金属錯体化反応を活用した酸化ランタンの熱ドライエッチング
저자
by
Kazunori Shinoda
;
Masaru Izawa
;
Satoshi Sakai
;
Yoshihide Yamaguchi
;
Yutaka Kouzuma
, et al.
소스
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2017, :2855
Open Access (JSTAGE)
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7 . Academic Journal
Atomic Layer Etching of TiN Using Formation and Desorption of Modified Layer / 表面反応層の生成と熱脱離を用いたTiNの原子層レベルエッチング
저자
by
Hiroyuki Kobayashi
;
Kazunori Shinoda
;
Kenji Ishikawa
;
Masaru Hori
;
Masaru Izawa
, et al.
소스
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2016, :1694
Open Access (JSTAGE)
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