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1 . Academic Journal
A New Plasma Resistant Coating Reducing Particle Generations / 低発塵性コーティング技術
저자
by
Hironori HATONO
;
Junichi IWASAWA
;
Masakatsu KIYOHARA
;
岩澤 順一
;
清原 正勝
, et al.
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Journal of the Vacuum Society of Japan. 2010, 53(10):573
Open Access (JSTAGE)
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7 . Academic Journal
Development of plasma resistant film prepared by aerosol deposition process / (平成19年度技術奨励賞受賞講演)エアロゾルデポジション法による耐プラズマ性部材の開発
저자
by
Junichi Iwasawa
;
岩澤 順一
.
소스
Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan. 2009, :114
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RefWorks
4 . Academic Journal
Characterization of adhesion force of yttrium oxide film prepared by aerosol deposition process. / エアロゾルデポジション法で作製したイットリア膜の密着強度評価
저자
by
Hiroaki Ashizawa
;
Junichi Iwasawa
;
岩澤 順一
;
芦澤 宏明
.
소스
Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan. 2008, :3
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6 . Academic Journal
Nano composite layer prepared with Aerosol Deposition Method (3rd report) -Fundamental study of Metal-Ceramics composite-
저자
by
Atsushi Yoshida
;
Hironori Hatono
;
Jun Akedo
;
Junichi Iwasawa
;
Lebedev Maxim
, et al.
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Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan. 2003, :366
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7 . Academic Journal
Dense Yttrium Oxide Film Prepared by Aerosol Deposition Process at Room Temperature / エアロゾルデポジション法による緻密イットリア膜の室温形成
저자
by
Junichi IWASAWA
;
Keizo UEMATSU
;
Masahiro TOKITA
;
Masakatsu KIYOHARA
;
Ryoichi NISHIMIZU
, et al.
소스
Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌) / Journal of the Ceramic Society of Japan. 2006, 114(1327):272
Open Access (JSTAGE)
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RefWorks
7 . Academic Journal
AD法により作製したイットリア膜の半導体製造装置用部材への応用 / Application of Yttrium Oxide Film prepared by Aerosol Deposition for Semiconductor Industry
저자
by
akihiko matsumura
;
junichi iwasawa
;
masahiro tokita
;
ryoichi nishimizu
;
岩澤 順一
, et al.
소스
Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan. 2007, :48
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7 . Academic Journal
Application of Ceramic Film to Electrostatic Chucks Prepared by Aerosol Deposition Process / エアロゾルデポジション法で形成したセラミックス膜の静電チャックへの応用
저자
by
Akihiko MATSUMURA
;
Hironori HATONO
;
Junichi IWASAWA
;
Masahiro TOKITA
;
Ryoichi NISHIMIZU
, et al.
소스
Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan. 2007, :49
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RefWorks
7 . Academic Journal
Plasma resistance of dense yttrium oxide film prepared by aerosol deposition process / エアロゾルデポジション法により作製したイットリア緻密膜の耐プラズマ特性
저자
by
Akihiko Matsumura
;
Junichi Iwasawa
;
Keizo Uematsu
;
Masahiro Tokita
;
Masakatsu Kiyohara
, et al.
소스
Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan. 2007, :47
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RefWorks
7 . Academic Journal
Characterization of plasma resistant film prepared by aerosol deposition
저자
by
Junichi Iwasawa
.
소스
Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan. 2006, :497
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RefWorks
3 . Academic Journal
Nano Composite Layer Prepared with Aerosol Deposition Method -Fundamental Study of Metal-Ceramics Composite-
저자
by
Aki URANO
;
Atsushi YOSHIDA
;
Hironori HATONO
;
Jun AKEDO
;
Junichi IWASAWA
, et al.
소스
Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan. 2003, :152
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