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1 . Academic Journal
Output Characteristics of a Thin-Film Piezoelectric AE Sensor for Magnetic Head-Disk Interaction
저자
by
G.J. BURGER
;
J.H.J. FLUITMAN
;
Satomitsu IMAI
;
T.S.J. LAMMERINK
.
소스
JSME international journal. Ser. C, Dynamics, control, robotics, design and manufacturing. 1997, 40(1):33
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6 .
Electrostatic curved electrode actuators
저자
by
E. Berenschot
;
Rob Legtenberg
;
J.H.J. Fluitman
;
Michael Curt Elwenspoek
.
소스
Proceedings IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) '95, 37-42
STARTPAGE=37;ENDPAGE=42;TITLE=Proceedings IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) '95
University of Twente Research Information (Pure Portal)
Journal of microelectromechanical systems, 6(3), 257-265. IEEE
Micro Electro Mechanical Systems, 1995, MEMS '95, Proceedings. IEEE, 37-42
STARTPAGE=37;ENDPAGE=42;TITLE=Micro Electro Mechanical Systems, 1995, MEMS '95, Proceedings. IEEE
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6 .
Microsystems technology: Objectives
저자
by
J.H.J. Fluitman
.
소스
Sensors and actuators. A: Physical, 56(56), 151-166. Elsevier
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3 .
A survey on the reactive ion etching of silicon in microtechnology
저자
by
J.H.J. Fluitman
;
Meint J. de Boer
;
Miko Elwenspoek
;
Han Gardeniers
;
Henri Jansen
, et al.
소스
Journal of micromechanics and microengineering, 6(1), 14-28. Institute of Physics (IOP)
Full Text (IOP Science)
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7 .
Sacrificial wafer bonding for planarization after very deep etching
저자
by
Michael Curt Elwenspoek
;
Johan W. Berenschot
;
V.L. Spiering
;
J.H.J. Fluitman
.
소스
Journal of microelectromechanical systems, 4(3), 151-157. IEEE
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6 .
Micromechanics in the MESA-Research Institute
저자
by
J.H.J. Fluitman
.
소스
Journal of the Japan Society of Mechanical Engineers, 281-285. Japan Society of Mechanical Engineers
STARTPAGE=281;ENDPAGE=285;ISSN=0021-4728;TITLE=Journal of the Japan Society of Mechanical Engineers
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3 .
Micro-liquid flow sensor
저자
by
Michael Curt Elwenspoek
;
Niels Roelof Tas
;
Theodorus S.J. Lammerink
;
J.H.J. Fluitman
.
소스
Sensors and actuators. A: Physical, 1993(37), 45-50. Elsevier
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6 .
Realization of mechanical decoupling zones for package-stress reduction
저자
by
J.H.J. Fluitman
;
V.L. Spiering
;
S. Bouwstra
.
소스
Sensors and actuators. A: Physical, 37-38, 800-804. Elsevier
ISSUE=6;TITLE=Eurosensors VI
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5 .
Dependence of the quality factor of micromachined silicon beam resonators on pressure and geometry
저자
by
Michael Curt Elwenspoek
;
J.H.J. Fluitman
;
F.R. Blom
;
S. Bouwstra
.
소스
Journal of vacuum science and technology. B: Microelectronics and nanometer structures, 10(1), 19-26. AVS Science and Technology Society
Open Access (OpenAIRE)
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6 .
Micro resonant force gauges
저자
by
J.H.J. Fluitman
;
Harrie Tilmans
;
Miko Elwenspoek
.
소스
Sensors and actuators. A: Physical, 30(1-2), 35-53. Elsevier
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