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1 . Academic Journal
MIT characteristic of VO2 thin film deposited by ALD using vanadium oxytriisopropoxide precursor and H2O reactant
저자
by
Changhee Shin
;
Namgue Lee
;
Hyeongsu Choi
;
Hyunwoo Park
;
Chanwon Jung
, et al.
소스
Journal of Ceramic Processing Research, 20(5), pp.484-489 Oct, 2019
Open Access (KCI)
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7 . Academic Journal
Synthesis, Characterization and Gas‑Sensing Properties of Pristine and SnS2 Functionalized TeO2 Nanowires
저자
by
Sangwoo Kim
;
Jae Hoon Bang
;
Myung Sik Choi
;
Wansik Oum
;
Ali Mirzaei
, et al.
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Metals and Materials International, 25(3), pp.805-813 May, 2019
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7 . Academic Journal
Remote Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition(PEALD) of TiN Using TDMAT with NH₃ plasma
저자
by
Ju Youn Kim
;
Hyeongtag Jeon
;
Do Youl Kim
;
Hee Ok Park
.
소스
Journal of the Korean Physical Society, 45(3), pp.1639-1643 Dec, 2004
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6 . Academic Journal
Characteristics of ZrO2 films deposited by atomic layer deposition method
저자
by
Janghee Lee
;
Hyeongtag Jeon
;
Jaehyoung Koo
;
Youngdo Won
.
소스
Journal of the Korean Physical Society, 44(4), pp.915-29 Apr, 2004
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6 . Academic Journal
Development of Low Power SRAM with Spacer-On Stopper Structure using Co Salicide
저자
by
Joo Young Kim
;
Hyeongtag Jeon
;
Chongmu Lee
;
Ju Youn Kim
;
Nam-Chul Kim
, et al.
소스
Journal of the Korean Physical Society, 43(51), pp.802-806 Nov, 2003
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7 . Academic Journal
Comparison of TiN and TiAlN as a Di usion Barrier Deposited by Atomic Layer Deposition
저자
by
Hyeongtag JEON
.
소스
Journal of the Korean Physical Society, 40(1), pp.176-179 Jan, 2002
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3 . Academic Journal
Crystallinity-Controlled Atomic Layer Deposition of Ti-Doped ZrO2 Thin Films
저자
by
Seokhwi Song
;
Eungju Kim
;
Kyunghoo Kim
;
Jangho Bae
;
Jinho Lee
, et al.
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ECS Advances, Vol 3, Iss 1, p 012002 (2024)
Open Access (DOAJ)
Open Access (IOP)
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7 . Academic Journal
Barrier Characteristics of TaN Films Deposited by Remote Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD) Method
저자
by
Ju Youn Kim
;
Hyeongtag Jeon
;
Keun Woo Lee
;
Yangdo Kim
;
Young Do Kim
, et al.
소스
Journal of the Korean Physical Society, 45(1), pp.1069-1068 Oct, 2004
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7 . Academic Journal
Terahertz rectification in ring-shaped quantum barriers
저자
by
Taehee Kang
;
R. H. Joon-Yeon Kim
;
Geunchang Choi
;
Jaiu Lee
;
Hyunwoo Park
, et al.
소스
Nature Communications, Vol 9, Iss 1, Pp 1-8 (2018)
Open Access (DOAJ)
Web of Science
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7 . Academic Journal
ALD trend and its application to gate spacer and charge trap layer
저자
by
Hyeongtag Jeon
.
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JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2018, :253
Open Access (JSTAGE)
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