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1 . Conference
Novel process window and product yield improvement by eliminating contact shorts
저자
by
Yuan-Chieh Chiu
;
Shih-Ping Hong
;
Fang-Hao Hsu
;
Hong-Ji Lee
;
Nan-Tzu Lian
, et al.
소스
25th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC 2014) Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2014 25th Annual SEMI. :11-14 May, 2014
Full Text (IEEE)
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RefWorks
7 . Conference
Uniformity control for high selective down-flow plasma etching on silicon oxide
저자
by
Fang-Hao Hsu
;
Kuo-Feng Lo
;
Xin-Guan Lin
;
Han-Hui Hsu
;
Yuan-Chieh Chiu
, et al.
소스
25th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC 2014) Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2014 25th Annual SEMI. :242-244 May, 2014
Full Text (IEEE)
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RefWorks
7 . Conference
Reliability assessment and physical failure analysis of nanoscale hard-mask-etching Al interconnect
저자
by
Ming-Yi Lee
;
An-Shun Teng
;
Chia-Hao Tu
;
Li-Kuang Kuo
;
Sheng-Qian Dai
, et al.
소스
2012 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) Reliability Physics Symposium (IRPS), 2012 IEEE International. :EM.6.1-EM.6.4 Apr, 2012
Full Text (IEEE)
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RefWorks
7 .
Common Source Line-to-Word Line Short Improvement by Eliminating SLT Sidewall Notch in 3D NAND Deep Trench Patterning
저자
by
Yao-An Chung
;
Yuan-Chieh Chu
;
Chih-Chin Chang
;
Hong-Ji Lee
;
Nan-Tzu Lian
, et al.
소스
2023 34th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
.
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RefWorks
7 .
Post-Etch Yield Killer Defects in 3D NAND High Aspect Ratio Etching Process
저자
by
Chih-Chin Chang
;
Ching-Hung Hsiao
;
Yi-Che Chen
;
Ching-Hung Wang
;
Yao-An Chung
, et al.
소스
2023 34th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
.
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RefWorks
7 .
Machine learning Assists on High Aspect Ratio Slit Trench Etching in 3D NAND
저자
by
Yu-Fan Chang
;
Hong-Ji Lee
;
Fu-Hsing Chou
;
Shih-Chin Lee
;
Yao-An Chung
, et al.
소스
2022 33rd Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
.
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RefWorks
7 .
Improvement of Twisting and Line-Edge Roughness of 3D NAND Deep Trench Etching on Yield Enhancement : AEPM: Advanced Equipment Processes and Materials
저자
by
Yao-An Chung
;
Yuan-Chieh Chiu
;
Yu-Fan Chang
;
Hong-Ji Lee
;
Nan-Tzu Lian
, et al.
소스
2022 33rd Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
.
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RefWorks
7 .
Study of Plasma Ash Rate Enhancement by Machine Learning Models for TAT Improvement
저자
by
Shao-Lou Jheng
;
Jyunhong Wu
;
Zusing Yang
;
Yuan-Chieh Chiu
;
Ming-Tsung Wu
, et al.
소스
2021 32nd Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
.
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RefWorks
7 . Conference
Post etch killer defect characterization and reduction in a self-aligned double patterning technology.
저자
by
Hong-Ji Lee
;
Sun-Yi Lin
;
I-Ting Lin
;
Kuo-Liang Wei
;
Sheng-Yuan Chang
, et al.
소스
Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2011 22nd Annual IEEE/SEMI; 2011, p1-4, 4p
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7 . Conference
Advanced floating gate CD uniformity control in the 75nm node NOR flash memory.
저자
by
Sheng-Yuan Chang
;
Yu-Chung Chen
;
An Chyi Wei
;
Hong-Ji Lee
;
Nan-Tzu Lian
, et al.
소스
Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2011 22nd Annual IEEE/SEMI; 2011, p1-4, 4p
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