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1 . Conference
SOI thickness uniformity improvement using corrective etching for silicon nano-photonic device
저자
by
Selvaraja, Shankar Kumar
;
Rosseel, Erik
;
Fernandez, Luis
;
Tabat, Martin
;
Bogaerts, Wim
, et al.
소스
8th IEEE International Conference on Group IV Photonics Group IV Photonics (GFP), 2011 8th IEEE International Conference on. :71-73 Sep, 2011
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7 . Conference
Dopant Activation and Defect Analysis of Ultra-Shallow Junctions Made by Gas Cluster Ion Beams.
저자
by
Shao, Yan
;
Hautala, John
;
Larson, Larry
;
Jain, Amitabh
.
소스
AIP Conference Proceedings
. 11/3/2008, Vol. 1066 Issue 1, p411-414. 4p. 2 Black and White Photographs, 1 Chart, 4 Graphs.
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RefWorks
6 . Conference
Productivity Enhancements for Shallow Junctions and DRAM Applications using Infusion Doping.
저자
by
Hautala, John
;
Gwinn, Matt
;
Skinner, Wes
;
Shao, Yan
.
소스
AIP Conference Proceedings
. 2006, Vol. 866 Issue 1, p174-177. 4p. 1 Diagram, 5 Graphs.
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RefWorks
6 . Conference
Gas Cluster Ge Infusion for Si
(1−x)
Ge
(x)
Strained-Layer Applications.
저자
by
Tetreault, Thomas G.
;
Shao, Yan
;
Huang, Mengbing
;
Hautala, John
.
소스
MRS Online Proceedings Library; 2006, Vol. 958 Issue 1, p1-6, 6p
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RefWorks
6 . Conference
Electronic properties of amorphous silicon and amorphous silicon-germanium alloys.
저자
by
Cohen, J. David
;
Zhong, Fan
;
Unold, Thomas
;
Hautala, John
.
소스
AIP Conference Proceedings; 1994, Vol. 307 Issue 1, p452-457, 6p
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RefWorks
6 . Academic Journal
An alternative for shallow doping: gas cluster infusion. (cover story)
저자
by
Hautala, John
;
Gwinn, Matt
;
Skinner, Wes
;
Yan Shao
.
소스
Solid State Technology
. Dec2006, Vol. 49 Issue 12, p61-66. 4p.
Scopus
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RefWorks
6 . Academic Journal
USJ and strained-Si formation using infusion doping and deposition.
저자
by
Borland, John
;
Hautala, John
;
Gawin, Matt
;
Tetreault, T.G.
;
Skinner, Wes
.
소스
Solid State Technology
. May2004, Vol. 47 Issue 5, p53-58. 4p.
Scopus
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RefWorks
7 . Academic Journal
Comparison of RF Bias, Gas Cluster Ion Beam, and Ion Beam In-Situ Beam Treatment for Enhancement of GMR in Spin-Valve Stacks.
저자
by
Devasahayam, Adrian J.
;
Kools, Jacques C. S.
;
Chih-Ching Hu
;
Ming Mao
;
Chih-Ling Lee
, et al.
소스
IEEE Transactions on Magnetics
. Jul2004 Part 2 of 2, Vol. 40 Issue 4, p2200-2202. 3p.
Full Text (IEEE)
Web of Science
Scopus
JCR 저널정보
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RefWorks
7 .
SOI thickness uniformity improvement using wafer-scale corrective etching for silicon nano-photonic device
저자
by
Selvaraja, shankar kumar
;
Rosseel, Erik
;
Fernandez, Luis
;
Tabat, Martin
;
Bogaerts, Wim
, et al.
소스
Proceedings of the 2011 annual symposium of the IEEE Photonics Benelux Chapter
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RefWorks
7 . Academic Journal
Gas Cluster Ge Infusion for Si
(1−x)
Ge
(x)
Strained-Layer Applications
저자
by
Tetreault, Thomas G.
;
Shao, Yan
;
Huang, Mengbing
;
Hautala, John
.
소스
MRS Online Proceedings Library
. 958(1)
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