공지
도서관 자료실 휴실 안내(10. 1., 10. 3., 10. 9.)
2024학년도 도서관 전자정보박람회 경품 추첨 결과 및 수령 안내
2024학년도 2학기 도서관 정보활용교육 안내
학술 생성형 AI 서비스 「tlooto」 시범 운영 안내
원문복사·상호대차 이용안내
이전
다음
오늘 하루 닫기
공지사항 닫기
DAU Library
중앙도서관
동아대학교
로그인
교외접속
OFF
ENG
검색창 열기
검색"
자료검색
통합검색
소장자료
학술논문
전자저널
학술DB
온라인 강좌
e-Learning
INSPIRE
KOCW
해외OCW/MOOC 리스트
전자책
컬렉션
신착도서
인기도서
추천도서
청춘의 책탑
북 카드뉴스
연구도서
연구학습지원
학술지평가정보
학과별 주제 가이드
표절예방/연구윤리
참고문헌 관리
학위논문 제출
원문복사/상호대차
신청 안내
의학, 간호학 학술지 신청
의학, 간호학 학위논문 신청
신청 현황 조회
이용교육
이용교육 안내
이용교육 신청
그룹교육 신청
도서관 서비스
자료 이용
대출/재대출/반납
캠퍼스간 대출
희망도서 신청
보존서고자료 신청
우선정리 신청
시설 이용
그룹스터디실 이용
열람실 이용
타기관 이용(자료열람)
타기관 이용(자료열람) 가이드
타기관 이용(자료열람) 신청
타교 자료열람 신청 조회
타기관 이용(열람실 이용)
타기관 이용(열람실 이용) 가이드
타기관 이용(열람실 이용) 신청
타기관 이용(열람실 이용) 조회
이용자별 서비스
학부생
대학원생
교직원
특별회원
기타
모바일 서비스
모바일 홈페이지
모바일 좌석배정
모바일 이용증
무선랜 안내
교외접속 서비스
서비스 찾기
도서관 안내
도서관 소개
개요
도서관 연혁
도서관 현황
규정
조직도 및 구성원
도서관 이용시간
층별 안내
자료 기증
기증 안내
기증자 목록
사이버 기증 문고
찾아오시는 길
커뮤니티
공지사항(일반)
공지사항(학술DB)
Q&A
Q&A
FAQ
서평쓰기
동아인 우수서평
행사 후기
각종 서식자료
홈페이지 오류문의
My Library
대출/재대출/예약 조회
대출 및 재대출
대출 기록
캠퍼스간 대출 기록
신청자료 조회
희망도서 신청 조회
보존서고자료 신청 조회
우선정리 신청 조회
서가부재도서 신청 조회
원문복사 신청 조회
그룹스터디실 신청 조회
이용교육 신청 조회
타기관 이용 조회
타교 자료열람 신청 조회
타교 열람실 신청 조회
내 서재
나의 서평
개인정보관리
개인정보관리
개인공지사항
자주 찾는 메뉴
대출 및 재대출
내 서재
FAQ
홈페이지 오류문의
메뉴 전체보기
학술논문
Home
>
자료검색
>
학술논문
>
통합검색
소장자료
학술논문
전자저널
전체
ISSN
논문 제목
저널명
저자
엡스코 구버전 바로가기
발행년도
-
(예 : 2010-2015)
'
학술논문
' 에서의 검색결과
19
건 | 목록
1~10
전체선택
Relevance
Date Newest
Date Oldest
5
10
20
30
40
50
E-Mail
EndNote
RefWorks
1 . Academic Journal
Mask-membrane impact on image blur in SCALPEL
저자
by
Mkrtchyan, Masis
;
Gallatin, Gregg
;
Liddle, Alexander
;
Zhu, Xeiqing
;
Munro, Eric
, et al.
소스
In
Microelectronic Engineering
2001 57:277-284
Full Text (ScienceDirect)
Web of Science
Scopus
JCR 저널정보
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
7 . Academic Journal
The effect of resist on the transfer of line-edge roughness spatial metrics from mask to wafer
저자
by
Gallatin, Gregg
.
소스
JVST B
Open Access (SciTech Connect)
Find it @ DONGA
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
3 . Academic Journal
Spatial scaling metrics of mask-induced induced line-edge roughness
저자
by
Gallatin, Gregg
.
소스
Journal of Vacuum Science and Technology B
Open Access (SciTech Connect)
Find it @ DONGA
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
3 . Academic Journal
Relative importance of various stochastic terms and EUV patterning.
저자
by
Naulleau, Patrick
;
Gallatin, Gregg
.
소스
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS
. Oct-Dec2018, Vol. 17 Issue 4, p1-7. 7p.
Web of Science
Scopus
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
4 . Conference
Film quantum yields of EUV and ultra-high PAG photoresists.
저자
by
Hassanein, Elsayed
;
Higgins, Craig
;
Naulleau, Patrick
;
Matyi, Richard
;
Gallatin, Gregg
, et al.
소스
Proceedings of SPIE; Nov2008, Issue 1, p69211I-69211I-13, 13p
Find it @ DONGA
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
7 . Conference
Topics in polarization ray tracing for image projectors.
저자
by
Rosenbluth, Alan E.
;
Gallatin, Gregg
;
Lai, Kafai
;
Seong, Nakgeuon
;
Singh, Rama N.
.
소스
Proceedings of SPIE; Nov2005 Part 2, Issue 1, p587503-587503-17, 17p
Find it @ DONGA
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
7 . Academic Journal
The line-edge roughness transfer function and its application to determining mask effects in EUV resist characterization
저자
by
Gallatin, Gregg
.
소스
Applied Optics; 42; 17; Other Information: Journal Publication Date: June 10, 2003; PBD: 17 May 2004
Open Access (SciTech Connect)
Find it @ DONGA
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
3 . Academic Journal
Spatial scaling metrics of mask-induced line-edge roughness.
저자
by
Naulleau, Patrick P.
;
Gallatin, Gregg
.
소스
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; Nov2008, Vol. 26 Issue 6, p1903-1910, 8p, 2 Black and White Photographs, 2 Charts, 9 Graphs
Scopus
Find it @ DONGA
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
4 . Academic Journal
Influence of base and photoacid generator on deprotection blur in extreme ultraviolet photoresists and some thoughts on shot noise.
저자
by
Anderson, Christopher N.
;
Naulleau, Patrick P.
;
Niakoula, Dimitra
;
Hassanein, Elsayed
;
Brainard, Robert
, et al.
소스
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; Nov2008, Vol. 26 Issue 6, p2295-2299, 5p, 2 Diagrams, 2 Charts
Scopus
Find it @ DONGA
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
7 . Periodical
Laser feedback metrology of optical systems
저자
by
de Groot, Peter
;
Gallatin, Gregg
;
Gardopee, George
;
Dixon, Robert
.
소스
Applied Optics; July 1989, Vol. 28 Issue: 13 p2462-2464, 3p
Web of Science
Scopus
JCR 저널정보
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
1
2
다음
메일 발송
로그인후 이용해주세요.
이동하기
전체 메뉴 보기
전체메뉴 닫기
자료검색
통합검색
소장자료
학술논문
전자저널
학술DB
온라인 강좌
e-Learning
INSPIRE
KOCW
해외OCW/MOOC 리스트
전자책
컬렉션
신착도서
인기도서
추천도서
청춘의 책탑
북 카드뉴스
연구도서
연구학습지원
학술지평가정보
학과별 주제 가이드
표절예방/연구윤리
참고문헌 관리
학위논문 제출
원문복사/상호대차
신청 안내
의학, 간호학 학술지 신청
의학, 간호학 학위논문 신청
신청 현황 조회
이용교육
이용교육 안내
이용교육 신청
그룹교육 신청
도서관 서비스
자료 이용
대출/재대출/반납
캠퍼스간 대출
희망도서 신청
보존서고자료 신청
우선정리 신청
시설 이용
그룹스터디실 이용
열람실 이용
타기관 이용(자료열람)
타기관 이용(자료열람) 가이드
타기관 이용(자료열람) 신청
타교 자료열람 신청 조회
타기관 이용(열람실 이용)
타기관 이용(열람실 이용) 가이드
타기관 이용(열람실 이용) 신청
타기관 이용(열람실 이용) 조회
이용자별 서비스
학부생
대학원생
교직원
특별회원
기타
모바일 서비스
모바일 홈페이지
모바일 좌석배정
모바일 이용증
무선랜 안내
교외접속 서비스
서비스 찾기
도서관 안내
도서관 소개
개요
도서관 연혁
도서관 현황
규정
조직도 및 구성원
도서관 이용시간
층별 안내
자료 기증
기증 안내
기증자 목록
사이버 기증 문고
찾아오시는 길
커뮤니티
공지사항(일반)
공지사항(학술DB)
Q&A
Q&A
FAQ
서평쓰기
동아인 우수서평
행사 후기
각종 서식자료
홈페이지 오류문의
My Library
대출/재대출/예약 조회
대출 및 재대출
대출 기록
캠퍼스간 대출 기록
신청자료 조회
희망도서 신청 조회
보존서고자료 신청 조회
우선정리 신청 조회
서가부재도서 신청 조회
원문복사 신청 조회
그룹스터디실 신청 조회
이용교육 신청 조회
타기관 이용 조회
타교 자료열람 신청 조회
타교 열람실 신청 조회
내 서재
나의 서평
개인정보관리
개인정보관리
개인공지사항