Applied surface science 556 (2021): 149678. doi:10.1016/j.apsusc.2021.149678 info:cnr-pdr/source/autori:Dellasega D.; Mirani F.; Vavassori D.; Conti C.; Passoni M./titolo:Role of energetic ions in the growth of fcc and ? crystalline phases in Ti films deposited by HiPIMS/doi:10.1016%2Fj.apsusc.2021.149678/rivista:Applied surface science/anno:2021/pagina_da:149678/pagina_a:/intervallo_pagine:149678/volume:556