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1 .
Reduced Pressure – Chemical Vapor Deposition of Monocrystalline and Polycrystalline Si(:B) and SiGe(:B) Layers on Blanket Wafers
저자
by
Justine Lespiaux
;
Fabien Deprat
;
Jérémy Vives
;
Romain Duru
;
Mehmet Bicer
, et al.
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ECS Transactions
. 109:217-236
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RefWorks
7 .
Investigation of Arsenic Transient Enhanced Diffusion From Emitter Process at 550 °C Si:As RP-CVD Epitaxy Using Disilane Precursor
저자
by
Fabien Deprat
;
Jérémy Vives
;
Marc Juhel
;
Alexia Valery
;
Justine Lespiaux
, et al.
소스
ECS Transactions
. 109:159-169
Full Text (IOP)
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RefWorks
7 .
Relaxation Dynamics of Heteroepitaxial Films on Mesa-Strip Designs
저자
by
Kennet D. R. Hannikainen
;
fabien deprat
;
olivier gourhant
;
Isabelle Berbezier
;
jean-noel aqua
.
소스
SSRN Electronic Journal
.
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RefWorks
7 .
Engineering Epitaxy and Condensation: Fabrication of Ge Nanolayers, Mechanism and Applications
저자
by
Mohamed Bouabdellaoui
;
Monica Bollani
;
Marco Salvalaglio
;
Elie Assaf
;
Luc Favre
, et al.
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RefWorks
7 .
Quantification of substitutional and interstitial carbon in thin SiGeC films using in-line X-Ray-Photoelectron Spectroscopy
저자
by
Jérémy Vives
;
Stephane Verdier
;
Fabien Deprat
;
Marvin Frauenrath
;
Romain Duru
, et al.
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Journal of Materials Chemistry C
.
Scopus
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RefWorks
7 .
Local defect-free elastic strain relaxation of Si1-xGex embedded into SiO2
저자
by
Elie Assaf
;
Isabelle Berbezier
;
Mohammed Bouabdellaoui
;
Marco Abbarchi
;
Antoine Ronda
, et al.
소스
Applied Surface Science
Applied Surface Science, 2022, 590, pp.153015. ⟨10.1016/j.apsusc.2022.153015⟩
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RefWorks
7 .
(Best Student Presentation Award) Reduced Pressure – Chemical Vapor Deposition of Monocrystalline and Polycrystalline Si(:B) and SiGe(:B) Layers on Blanket Wafers
저자
by
Justine Lespiaux
;
Fabien Deprat
;
Jérémy Vives
;
Romain Duru
;
Mehmet Bicer
, et al.
소스
ECS Meeting Abstracts
. :1214-1214
Full Text (IOP)
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RefWorks
7 .
Substitutional Carbon Incorporation in SiGeC/Si Heterostructures: Influence of Silicon Precursors
저자
by
Jérémy Vives
;
Fabien Deprat
;
Didier Dutartre
;
Justine Lespiaux
;
Romain Duru
, et al.
소스
ECS Meeting Abstracts
. :1215-1215
Full Text (IOP)
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RefWorks
7 .
Low temperature carbon co-implantation in silicon: Defects suppression and diffusion modeling
저자
by
Sébastien Duguay
;
Vincent Lu
;
Edwin Arevalo
;
F. Hilario
;
P.L. Julliard
, et al.
소스
Journal of Applied Physics
Journal of Applied Physics, American Institute of Physics, 2021, 129 (19), pp.195706. ⟨10.1063/5.0049782⟩
Journal of Applied Physics, 2021, 129 (19), pp.195706. ⟨10.1063/5.0049782⟩
Full Text (AIP)
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RefWorks
7 .
Reduced oxygen partial pressure SiGe condensation for the fabrication of compressively strained SGOI substrates
저자
by
Damien Valenducq
;
F. Abbate
;
Denis Rouchon
;
Fabien Deprat
;
Olivier Gourhant
, et al.
소스
2019 Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon (EUROSOI-ULIS)
.
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