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1 . Conference
High performance PMOS with strained high-Ge-content SiGe fins for advanced logic applications
저자
by
Hashemi, Pouya
;
Ando, Takashi
;
Balakrishnan, Karthik
;
Koswatta, Siyuranga
;
Kam-Leung Lee
, et al.
소스
2017 International Symposium on VLSI Technology, Systems and Application (VLSI-TSA) VLSI Technology, Systems and Application (VLSI-TSA), 2017 International Symposium on. :1-2 Apr, 2017
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7 . Conference
Subtractive W contact and local interconnect co-integration (CLIC)
저자
by
Liu, Fei
;
Fletcher, Benjamin
;
Joseph, Eric A.
;
Zhu, Yu
;
Gonsalves, Jemima
, et al.
소스
2013 IEEE International Interconnect Technology Conference - IITC Interconnect Technology Conference (IITC), 2013 IEEE International. :1-3 Jun, 2013
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RefWorks
7 . Conference
Demonstration of record SiGe transconductance and short-channel current drive in High-Ge-Content SiGe PMOS FinFETs with improved junction and scaled EOT
저자
by
Hashemi, Pouya
;
Kam-Leung Lee
;
Ando, Takashi
;
Balakrishnan, Karthik
;
Ott, John A.
, et al.
소스
2016 IEEE Symposium on VLSI Technology VLSI Technology, 2016 IEEE Symposium on. :1-2 Jun, 2016
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RefWorks
7 . Conference
Strained Si1−xGex-on-insulator PMOS FinFETs with excellent sub-threshold leakage, extremely-high short-channel performance and source injection velocity for 10nm node and beyond
저자
by
Hashemi, Pouya
;
Balakrishnan, Karthik
;
Majumdar, Amlan
;
Khakifirooz, Ali
;
Kim, Wanki
, et al.
소스
2014 Symposium on VLSI Technology (VLSI-Technology): Digest of Technical Papers VLSI Technology (VLSI-Technology): Digest of Technical Papers, 2014 Symposium on. :1-2 Jun, 2014
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RefWorks
7 . Conference
First demonstration of high-Ge-content strained-Si1−xGex (x=0.5) on insulator PMOS FinFETs with high hole mobility and aggressively scaled fin dimensions and gate lengths for high-performance applications
저자
by
Hashemi, Pouya
;
Balakrishnan, Karthik
;
Engelmann, Sebastian U.
;
Ott, John A.
;
Khakifirooz, Ali
, et al.
소스
2014 IEEE International Electron Devices Meeting Electron Devices Meeting (IEDM), 2014 IEEE International. :16.1.1-16.1.4 Dec, 2014
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RefWorks
7 . Academic Journal
Utilizing photosensitive polymers to evaluate UV radiation exposures in different plasma chamber configurations.
저자
by
Buzi, Luxherta
;
Miyazoe, Hiroyuki
;
Sagianis, Matthew P.
;
Marchack, Nathan
;
Papalia, John M.
, et al.
소스
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; May2020, Vol. 38 Issue 3, p1-7, 7p
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RefWorks
7 . Academic Journal
Nitride etching with hydrofluorocarbons III: Comparison of C
4
H
9
F and CH
3
F for low-k′ nitride spacer etch processes.
저자
by
Miyazoe, Hiroyuki
;
Marchack, Nathan
;
Bruce, Robert L.
;
Zhu, Yu
;
Nakamura, Masahiro
, et al.
소스
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Nanotechnology & Microelectronics; May2018, Vol. 36 Issue 3, pN.PAG-N.PAG, 7p
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7 . Academic Journal
Nitride etching with hydrofluorocarbons. II. Evaluation of C
4
H
9
F for tight pitch Si
3
N
4
patterning applications.
저자
by
Marchack, Nathan
;
Miyazoe, Hiroyuki
;
Bruce, Robert L.
;
Tsai, Hsinyu
;
Nakamura, Masahiro
, et al.
소스
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Nanotechnology & Microelectronics; May2018, Vol. 36 Issue 3, pN.PAG-N.PAG, 10p
Web of Science
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RefWorks
7 . Academic Journal
Nitride etching with hydrofluorocarbons. I. Selective etching of nitride over silicon and oxide materials by gas discharge optimization and selective deposition of fluorocarbon polymer.
저자
by
Engelmann, Sebastian U.
;
Bruce, Robert L.
;
Joseph, Eric A.
;
Fuller, Nicholas C. M.
;
Graham, William S.
, et al.
소스
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Nanotechnology & Microelectronics; Sep2017, Vol. 35 Issue 5, p1-10, 10p
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RefWorks
7 . Academic Journal
Effects of ultraviolet and vacuum ultraviolet synchrotron radiation on organic underlayers to modulate line-edge roughness of fine-pitch poly-silicon patterns.
저자
by
Hiroyuki Miyazoe
;
Engelmann, Sebastian U.
;
Guillorn, Michael A.
;
Dongfei Pei
;
Weiyi Li
, et al.
소스
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; Sep/Oct2017, Vol. 35 Issue 5, p1-7, 7p
Web of Science
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