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1 .
SiGe Gate-All-around Nanosheet Reliability
저자
by
Huimei Zhou
;
Miaomiao Wang
;
Ruqiang Bao
;
Curtis Durfee
;
Liqiao Qin
, et al.
소스
2022 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS)
.
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RefWorks
7 .
In-line Raman spectroscopy for gate-all-around nanosheet device manufacturing
저자
by
Daniel Schmidt
;
Curtis Durfee
;
Juntao Li
;
Nicolas Loubet
;
Aron Cepler
, et al.
소스
Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology
. 21
Open Access (OpenAIRE)
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RefWorks
7 .
Development of SiGe Indentation Process Control for Gate-All-Around FET Technology Enablement
저자
by
Daniel Schmidt
;
Aron Cepler
;
Curtis Durfee
;
Shanti Pancharatnam
;
Julien Frougier
, et al.
소스
Open Access (OpenAIRE)
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RefWorks
7 .
OCD enhanced: implementation and validation of spectral interferometry for nanosheet inner spacer indentation
저자
by
Roy Koret
;
Gilad Belkin
;
Manasa Medikonda
;
Shay Wolfling
;
Curtis Durfee
, et al.
소스
Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV
.
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RefWorks
7 .
In-line Raman spectroscopy for stacked nanosheet device manufacturing
저자
by
Curtis Durfee
;
Lior Neeman
;
Yonatan Oren
;
Noga Meir
;
Jacob Ofek
, et al.
소스
Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV
.
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RefWorks
7 .
Nanosheet metrology opportunities for technology readiness
저자
by
Curtis Durfee
;
Frougier Julien
;
Daniel Schmidt
;
Andrew M. Greene
;
Veeraraghavan S. Basker
, et al.
소스
Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV
.
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RefWorks
7 .
Full Bottom Dielectric Isolation to Enable Stacked Nanosheet Transistor for Low Power and High Performance Applications
저자
by
Hosadurga Shobha
;
Tenko Yamashita
;
Chanro Park
;
Huiming Bu
;
R. Divakaruni
, et al.
소스
2019 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM)
.
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RefWorks
7 .
A Novel Dry Selective Etch of SiGe for the Enablement of High Performance Logic Stacked Gate-All-Around NanoSheet Devices
저자
by
R. Divakaruni
;
C. Alix
;
Trace Hurd
;
M. Sankar
;
Aelan Mosden
, et al.
소스
2019 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM)
.
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RefWorks
7 .
Highly Selective SiGe Dry Etch Process for the Enablement of Stacked Nanosheet Gate-All-Around Transistors
저자
by
Andrew M. Greene
;
Aelan Mosden
;
Peter Biolsi
;
Cheryl Alix
;
Jeffrey Smith
, et al.
소스
ECS Meeting Abstracts
. :943-943
Full Text (IOP)
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RefWorks
7 .
High-throughput, nondestructive assessment of defects in patterned epitaxial films on silicon by machine learning-enabled broadband plasma optical measurements
저자
by
Devendra K. Sadana
;
Brock Mendoza
;
John G. Gaudiello
;
Ankit Jain
;
Shravan Matham
, et al.
소스
2019 30th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
.
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