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1 . Academic Journal
Characterization of Thin AlN/Ag/AlN-Reflector Stacks on Glass Substrates for MEMS Applications
저자
by
Christian Behl
;
Regine Behlert
;
Jan Seiler
;
Christian Helke
;
Alexey Shaporin
, et al.
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Micro, Vol 4, Iss 1, Pp 142-156 (2024)
Open Access (DOAJ)
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RefWorks
7 . Academic Journal
CNT-PUFs: Highly Robust and Heat-Tolerant Carbon-Nanotube-Based Physical Unclonable Functions
저자
by
Florian Frank
;
Simon Böttger
;
Nico Mexis
;
Nikolaos Athanasios Anagnostopoulos
;
Ali Mohamed
, et al.
소스
Nanomaterials, Vol 13, Iss 22, p 2930 (2023)
Open Access (DOAJ)
Web of Science
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RefWorks
7 . Academic Journal
On the Fabrication and Characterization of Polymer-Based Waveguide Probes for Use in Future Optical Cochlear Implants
저자
by
Christian Helke
;
Markus Reinhardt
;
Markus Arnold
;
Falk Schwenzer
;
Micha Haase
, et al.
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Materials, Vol 16, Iss 1, p 106 (2022)
Open Access (DOAJ)
Web of Science
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RefWorks
7 .
Tunable Fabry-Pérot interferometer integrated in a silicon waveguide of an on-chip optical platform for long infrared wavelengths
저자
by
Julia Wecker
;
Karla Hiller
;
Toni Grossmann
;
Susann Hahn
;
Steffen Kurth
, et al.
소스
Silicon Photonics XVIII
.
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7 .
Lithographic performance of resist ma-N 1402 in an e-beam/i-line stepper intra-level mix and match approach
저자
by
CANSU HANIM CANPOLAT SCHMIDT
;
Georg Heldt
;
Christian Helke
;
Anja Voigt
;
Danny Reuter
.
소스
37th European Mask and Lithography Conference
.
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RefWorks
7 .
The BDRIE-HS* Technology Approach for Tiny Motion Detection with Improved Sensitivity and Noise Performance
저자
by
Roman Forke
;
Karla Hiller
;
Susann Hahn
;
Alexey Shaporin
;
Sebastian Weidlich
, et al.
소스
2022 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL)
.
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RefWorks
7 .
High-resolution projection lithography for MEMS-applications using thick photoresist AZ 10XT
저자
by
Sebastian Schermer
;
Christian Helke
;
Danhe Song
;
Danny Reuter
;
Harald Kuhn
.
소스
2022 Smart Systems Integration (SSI)
.
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RefWorks
7 .
Fabrication of Nanoimprint-Lithography masters for optical nano gratings
저자
by
Christian Helke
;
Micha Haase
;
Danny Reuter
;
Walter Zorbach
;
Andrea Kneidinger
, et al.
소스
2022 Smart Systems Integration (SSI)
.
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RefWorks
7 .
Parameter dependency of DNA origami immobilization at micro- and nano structured CF polymer surfaces on SiO2
저자
by
Danny Reuter
;
Joerg Nestler
;
Andreas Heerwig
;
Mathias Lakatos
;
Julia Hann
, et al.
소스
Materials Today: Proceedings
. 7:844-854
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RefWorks
7 .
Bridging the gap: Perspectives of nanofabrication technologies for application-oriented research
저자
by
Christoph Meinecke
;
Harald Kuhn
;
Stefan E. Schulz
;
Thomas Blaudeck
;
Sascha Hermann
, et al.
소스
Journal of Vacuum Science & Technology B
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