Recercat: Dipósit de la Recerca de Catalunya Varias* (Consorci de Biblioteques Universitáries de Catalunya, Centre de Serveis Científics i Acadèmics de Catalunya) Dipòsit Digital de Documents de la UAB Universitat Autònoma de Barcelona Micro and Nano Engineering, Vol 3, Iss, Pp 37-43 (2019) Recercat. Dipósit de la Recerca de Catalunya instname