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1 . Academic Journal
Development of controlled nanosphere lithography technology
저자
by
Artem A. Osipov
;
Alina E. Gagaeva
;
Anastasiya B. Speshilova
;
Ekaterina V. Endiiarova
;
Polina G. Bespalova
, et al.
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Scientific Reports, Vol 13, Iss 1, Pp 1-19 (2023)
Open Access (DOAJ)
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RefWorks
7 . Academic Journal
OES diagnostics as a universal technique to control the Si etching structures profile in ICP
저자
by
Artem A. Osipov
;
Gleb A. Iankevich
;
Anastasia B. Speshilova
;
Alina E. Gagaeva
;
Armenak A. Osipov
, et al.
소스
Scientific Reports, Vol 12, Iss 1, Pp 1-15 (2022)
Open Access (DOAJ)
Scopus
Web of Science
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RefWorks
7 .
Highly Selective Plasma Etching Technique for Molybdenum
저자
by
Artem A. Osipov
;
Nikolai A. Andrianov
;
Anastasia B. Speshilova
;
Alina E. Gagaeva
;
Sarah Risquez
, et al.
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Plasma Chemistry and Plasma Processing
. 43:697-707
Web of Science
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RefWorks
7 .
Silicon carbide dry etching technique for pressure sensors design
저자
by
Artem A. Osipov
;
Sergey V. Karakchiev
;
Gleb A. Iankevich
;
Armenak A. Osipov
;
Svetlana N. Levina
, et al.
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Journal of Manufacturing Processes
. 73:316-325
Web of Science
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7 .
Superhydrophobic textile: treatment in aqueous solutions of aluminum salts
저자
by
Artem A. Osipov
;
A. L. Shakhmin
;
Sergey E. Alexandrov
;
Eterina Endiiarova
.
소스
Cellulose
. 28:7455-7464
Open Access (OpenAIRE)
Web of Science
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RefWorks
6 .
Deep Etching of LiNbO3 Using Inductively Coupled Plasma in SF6-Based Gas Mixture
저자
by
Vladimir I. Berezenko
;
A. L. Shakhmin
;
Sergey E. Alexandrov
;
Anastasiya B. Speshilova
;
Artem A. Osipov
, et al.
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Journal of Microelectromechanical Systems
. 30:90-95
Full Text (IEEE)
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RefWorks
7 .
Influence of operation parameters on BOSCH-process technological characteristics
저자
by
Vladimir I. Berezenko
;
Gleb A. Iankevich
;
E.V. Endiiarova
;
Artem A. Osipov
.
소스
Materials Today: Proceedings
. 30:599-602
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RefWorks
6 .
ICP etching of SiC with low surface roughness
저자
by
Artem A. Osipov
;
Gleb A. Iankevich
;
Anastasiya B. Speshilova
;
Vladimir I. Berezenko
;
Sergey E. Alexandrov
.
소스
Materials Today: Proceedings
. 30:512-515
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RefWorks
7 .
Monocrystalline Quartz ICP Etching: Road to High-Temperature Dry Etching
저자
by
Gleb A. Iankevich
;
Sergey E. Alexandrov
;
Artem A. Osipov
.
소스
Plasma Chemistry and Plasma Processing
. 40:423-431
Web of Science
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RefWorks
5 .
Effective Diagnostics of Internal Defects of Diamonds in the near Infrared Range on the Basis of Immersion Medium Made from Low-Melting Chalcogenide Glass
저자
by
Janak Mistry
;
Margarita G. Dronova
;
Aleksander Semencha
;
V. A. Klinkov
;
Artem A. Osipov
.
소스
Key Engineering Materials
. 822:848-855
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