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1 . Academic Journal
Ge-MOSFETs을 위한 Ni-Co 합금을 이용한 Ni-germanide의 열안정성 개선
Thermal Stability Improvement of Ni-germanide using Ni-Co alloy for Ge-MOSFETs Technology
저자
by
박기영 / Kee Young Park
;
정순연 / Soon Yen Jung
;
장잉잉 / Ying Ying Zhang
;
한인식 / In Shik Han
;
이세광 / Shi Guang Li
, et al.
소스
전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.) / Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
. Aug 01, 2008 21(8):733
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7 . Academic Journal
Ge-MOSFETs을 위한 Ni-Co 합금을 이용한 Ni-germanide의 열안정성 개선
Thermal Stability Improvement of Ni-germanide using Ni-Co alloy for Ge-MOSFETs Technology
저자
by
박기영
;
정순연
;
장잉잉
;
한인식
;
이세광
, et al.
소스
전기전자재료학회논문지, 21(8), pp.733-737 Aug, 2008
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7 . Academic Journal
나노급 CMOSFET을 위한 니켈-코발트 합금을 이용한니켈-실리사이드의 열안정성 개선
Thermal Stability Improvement of Ni-Silicide using Ni-Co alloyfor Nano-scale CMOSFET
저자
by
박기영
;
정순연
;
한인식
;
장잉잉
;
종준
, et al.
소스
전기전자재료학회논문지, 21(1), pp.18-22 Jan, 2008
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7 . Academic Journal
나노급 CMOSFET을 위한 Boron Cluster(B18H22)가 이온 주입된(SOI 및 Bulk)기판에 Ni-V합금을 이용한 Ni-silicide의열안정성 개선
Improving the Thermal Stability of Ni-silicide using Ni-Von Boron Cluster Implanted Source/drain for Nano-scale CMOSFETs
저자
by
이세광
;
이원재
;
장잉잉
;
종준
;
정순연
, et al.
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전기전자재료학회논문지, 20(6), pp.487-490 Jun, 2007
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7 . Academic Journal
나노급 CMOSFET을 위한 SOI기판에 도핑된 B11을 이용한니켈-실리사이드의 열안정성 개선
Thermal Stability Improvement of Ni-Silicide on the SOI Substrate Doped B11 for Nano-scale CMOSFET
저자
by
정순연
;
왕진석
;
김영철
;
이가원
;
이희덕
, et al.
소스
전기전자재료학회논문지, 19(11), pp.1000-1004 Nov, 2006
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KCI 등재 저널
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7 . Academic Journal
나노급 CMOSFET을 위한 SOI기판에 Doping된 B11을 이용한 Ni-Silicide의 열안정성 개선
Thermal Stability Improvement of Ni-Silicide on the SOI Substrate Doped B11 for Nano-scale CMOSFET
저자
by
정순연 / Soon Yen Jung
;
오순영 / Soon Young Oh
;
김용진 / Yong Jin Kim
;
이원재 / Won Jae Lee
;
장잉잉 / Ying Ying Zhang
, et al.
소스
한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 / Proceeding of the KIEEME Annual Summer Conference
. Jun 29, 2006 2006:24
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7 . Academic Journal
SOI 기판에서 Silicide의 후속 공정 열처리 영향에 대한 연구
Study of Post-silicidation Annealing Effect on SOI Substrate
저자
by
이원재 / Won Lae Lee
;
오순영 / Soon Young Oh
;
김용진 / Yong Jin Kim
;
장잉잉 / Ying Ying Zhang
;
종준 / Zhun Zhong
, et al.
소스
한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 / Proceeding of the KIEEME Annual Summer Conference
. Jun 29, 2006 2006:3
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