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1 . Academic Journal
임피던스 변화를 이용한 실시간 기판 변형 측정
In-situ warpage measurement technique using impedance variation
저자
by
김우재
;
신기원
;
권희태
;
온범수
;
박연수
, et al.
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반도체디스플레이기술학회지, 20(1), 74, pp.32-36 Mar, 2021
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RefWorks
7 . Conference
플라즈마 진단 시스템을 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 실험
저자
by
박연수
;
신기원
;
김우재
;
권희태
;
김지환
, et al.
소스
한국진공학회 학술발표회초록집
. 2021-02 2021(2):117-117
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RefWorks
7 . Conference
삼불화질소의 플라즈마 반응성 이온 식각 특성 연구
저자
by
김우재
;
방인영
;
김지환
;
박연수
;
온범수
, et al.
소스
한국진공학회 학술발표회초록집
. 2021-02 2021(2):116-116
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RefWorks
7 . Conference
발광 분광 분석법 및 잔류가스 분석기를 이용한 NF₃ 플라즈마 반응성 이온 식각 장치의 실리콘 식각 진단 연구
저자
by
김우재
;
권희태
;
김지환
;
방인영
;
박연수
, et al.
소스
한국진공학회 학술발표회초록집
. 2020-08 2020(8):104-104
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RefWorks
7 . Conference
플라즈마 진단 센서를 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 시스템
저자
by
온범수
;
신기원
;
이태현
;
권희태
;
김우재
, et al.
소스
한국진공학회 학술발표회초록집
. 2020-08 2020(8):105-105
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RefWorks
7 . Conference
반사계의 위상차 변화를 이용한 플라즈마 상태 측정 시스템
저자
by
박연수
;
신기원
;
김우재
;
권희태
;
이태현
, et al.
소스
한국진공학회 학술발표회초록집
. 2020-08 2020(8):105-105
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RefWorks
7 . Academic Journal
Plasma Etching of Silicon at a High Flow and a High Pressure of NF$_3$ in Reactive Ion Etching
저자
by
권희태
;
김우재
;
신기원
;
이환희
;
이태현
, et al.
소스
Journal of the Korean Physical Society, 74(12), pp.1135-1139 Jun, 2019
Web of Science
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7 . Conference
정전척에서의 신호 변화를 이용한 웨이퍼 부하 및 플라즈마 부하 측정 시스템
저자
by
온범수
;
신기원
;
이태현
;
권희태
;
김우재
, et al.
소스
한국진공학회 학술발표회초록집
. 2020-02 2020(2):106-106
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7 . Conference
대면적 대기압 플라즈마를 사용한 태양전지용 P타입 결정질 실리콘 웨이퍼 내 인 불순물 확산 연구
저자
by
이태현
;
박연수
;
온범수
;
권희태
;
신기원
, et al.
소스
한국진공학회 학술발표회초록집
. 2020-02 2020(2):132-132
Full Text (DBPIA)
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7 . Academic Journal
잔류가스분석기 및 발광 분광 분석법을 통한 중간압력의 NF3 플라즈마 실리콘 식각 공정
Silicon etching process of NF3 plasma with residual gas analyzer and optical emission spectroscopy in intermediate pressure
저자
by
권희태
;
김우재
;
신기원
;
이환희
;
이태현
, et al.
소스
반도체디스플레이기술학회지, 17(1), 65, pp.97-100 Dec, 2018
KCI 등재 저널
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