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1 . Academic Journal
多孔硅腐蚀制造空腔薄膜方法 / Fabricate Si-Membranes by Using Porous silicon Electrochemical Etching
저자
by
季锋
;
刘琛
;
孙伟
;
闻永祥
;
邹光祎
, et al.
소스
中国集成电路 / China Integrated Circuit
. 28(4):70-75
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7 . Academic Journal
深槽刻蚀工艺参数及干法清洗工艺的研究 / Study on Process Parameters and Dry Cleaning Process of Deep Reactive Ion Etching
저자
by
周浩
;
罗燕飞
;
高周妙
;
闻永祥
;
李志栓
, et al.
소스
中国集成电路 / China Integrated Circuit
. 27(5):55-89
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RefWorks
7 . Academic Journal
MEMS磁传感器斜面Barber电极制作技术 / Fabrication Technology of Inclined Plane Barber Electrode For MEMS Magnetic
저자
by
方佼
;
於广军
;
闻永祥
;
李晓伟
;
陈雪平
, et al.
소스
中国集成电路 / China Integrated Circuit
. 25(6):64-68
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RefWorks
7 . Academic Journal
HF气相刻蚀技术及其在MEMS加速度计中的应用 / HF Gas-phase Etching Technology and Its Application in MEMS Accelerometer
저자
by
方佼
;
於广军
;
闻永祥
;
马志坚
;
季锋
, et al.
소스
中国集成电路 / China Integrated Circuit
. 25(4):73-77
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RefWorks
7 . Academic Journal
SOI深槽刻蚀Notching效应的研究 / Study on Notching Effect of Silicon on Insulator Deep Reactive Ion Etching
저자
by
於广军
;
闻永祥
;
方佼
;
李志栓
;
YU Guang-jun
, et al.
소스
中国集成电路 / China Integrated Circuit
. 24(10):61-64
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RefWorks
7 . Academic Journal
多腔室溅射台测量硅片薄膜吸气能力的方法 / The way to measure sorption performance of wafer level thin film with multi-chambers high vacuum sputter
저자
by
王友良
;
闻永祥
;
方佼
;
季锋
;
WANG You-liang
, et al.
소스
中国集成电路 / China Integrated Circuit
. 24(8):59-64
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RefWorks
7 . Academic Journal
铝锗键合技术及其在MEMS加速度计中的应用 / Al-Ge bonding technology and its application in MEMS Accelerometer
저자
by
刘琛
;
闻永祥
;
黄荣生
;
季锋
;
饶晓俊
, et al.
소스
中国集成电路 / China Integrated Circuit
. 23(10):65-69
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RefWorks
7 . Academic Journal
电子辐照对槽栅IGBT器件参数影响分析 / Analysis of irradiation to Trench IGBT parameters
저자
by
刘琛
;
闻永祥
;
顾悦吉
;
刘慧勇
;
邹光祎
, et al.
소스
中国集成电路 / China Integrated Circuit
. 23(7):58-61
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RefWorks
7 . Academic Journal
影响IGBT器件短路能力的一种栅极振荡现象研究 / A Gate oscillation research to IGBT short circuit capability
저자
by
闻永祥
;
范伟宏
;
顾悦吉
;
刘琛
;
刘慧勇
, et al.
소스
中国集成电路 / China Integrated Circuit
. 22(7):42-46
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RefWorks
7 . Academic Journal
功率器件IGBT槽栅设计尺寸对直流参数影响的研究
저자
by
闻永祥
;
范伟宏
;
顾悦吉
;
刘琛
;
刘慧勇
.
소스
中国集成电路 / China Integrated Circuit
. 22(6):65-69
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